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1. (WO2019042565) AGENCEMENT DE RETENUE POUR RETENIR UN SUBSTRAT, SUPPORT COMPRENANT L'AGENCEMENT DE RETENUE, SYSTÈME DE TRAITEMENT UTILISANT LE SUPPORT, PROCÉDÉ DE RETENUE D'UN SUBSTRAT, ET PROCÉDÉ DE LIBÉRATION D'UN SUBSTRAT À PARTIR D'UN AGENCEMENT DE RETENUE
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N° de publication : WO/2019/042565 N° de la demande internationale : PCT/EP2017/071999
Date de publication : 07.03.2019 Date de dépôt international : 01.09.2017
CIB :
C23C 14/50 (2006.01) ,B23Q 3/08 (2006.01) ,C23C 16/458 (2006.01) ,F16M 13/02 (2006.01)
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
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Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
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caractérisé par le procédé de revêtement
50
Porte-substrat
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
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MACHINES-OUTILS; TRAVAIL DES MÉTAUX NON PRÉVU AILLEURS
Q
PARTIES CONSTITUTIVES, AMÉNAGEMENTS OU ACCESSOIRES DES MACHINES-OUTILS, p.ex. DISPOSITIONS POUR COPIER OU COMMANDER; MACHINES-OUTILS D'UTILISATION GÉNÉRALE, CARACTÉRISÉES PAR LA STRUCTURE DE CERTAINES PARTIES CONSTITUTIVES OU AMÉNAGEMENTS; COMBINAISONS OU ASSOCIATIONS DE MACHINES POUR LE TRAVAIL DES MÉTAUX, NE VISANT PAS UN TRAVAIL PARTICULIER
3
Dispositifs permettant de maintenir, supporter ou positionner les pièces ou les outils, ces dispositifs pouvant normalement être démontés de la machine
02
destinés à être montés sur une table, un chariot porte-outil ou des organes analogues
06
Moyens de fixation de la pièce
08
autres que les moyens actionnés mécaniquement
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
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Revêtement chimique par décomposition de composés gazeux, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, c. à d. procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD)
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caractérisé par le procédé de revêtement
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caractérisé par le procédé utilisé pour supporter les substrats dans la chambre de réaction
F MÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
16
ÉLÉMENTS OU ENSEMBLES DE TECHNOLOGIE; MESURES GÉNÉRALES POUR ASSURER LE BON FONCTIONNEMENT DES MACHINES OU INSTALLATIONS; ISOLATION THERMIQUE EN GÉNÉRAL
M
CHÂSSIS, CARTERS, CARCASSES OU BÂTIS POUR MOTEURS OU AUTRES MACHINES OU APPAREILS, NON SPÉCIFIQUES D'UN TYPE PARTICULIER PRÉVU AILLEURS; SUPPORTS OU APPUIS
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Autres supports ou appuis pour positionner les appareils ou les objets; Moyens pour maintenir en position les appareils ou objets tenus à la main
02
pour être portés par un autre objet ou lui être fixé, p.ex. à un arbre, une grille, un châssis de fenêtre, une bicyclette
Déposants :
LAU, Simon [DE/DE]; DE (US)
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Inventeurs :
LAU, Simon; DE
Mandataire :
ZIMMERMANN & PARTNER PATENTANWÄLTE MBB; Josephspitalstr. 15 80331 München, DE
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) HOLDING ARRANGEMENT FOR HOLDING A SUBSTRATE, CARRIER INCLUDING THE HOLDING ARRANGEMENT, PROCESSING SYSTEM EMPLOYING THE CARRIER, METHOD FOR HOLDING A SUBSTRATE, AND METHOD FOR RELEASING A SUBSTRATE FROM A HOLDING ARRANGEMENT
(FR) AGENCEMENT DE RETENUE POUR RETENIR UN SUBSTRAT, SUPPORT COMPRENANT L'AGENCEMENT DE RETENUE, SYSTÈME DE TRAITEMENT UTILISANT LE SUPPORT, PROCÉDÉ DE RETENUE D'UN SUBSTRAT, ET PROCÉDÉ DE LIBÉRATION D'UN SUBSTRAT À PARTIR D'UN AGENCEMENT DE RETENUE
Abrégé :
(EN) The present disclosure relates to a holder for holding a substrate. The holder includes a surface configured to face the substrate, and an adhesive provided over the surface and comprising a plurality of adhesive structures. The plurality of adhesive structures comprises a first adhesive structure protruding from the surface; and a second adhesive structure protruding from the surface. The first adhesive structure and the second adhesive structure have an anisotropic flexibility parallel to the surface. The directions of minimal flexibility of the first adhesive structure and the second adhesive structure are different.
(FR) La présente invention concerne un dispositif de retenue pour retenir un substrat. Le dispositif de retenue comprend une surface configurée pour faire face au substrat, et un adhésif disposé sur la surface et comprenant une pluralité de structures adhésives. La pluralité de structures adhésives comprend une première structure adhésive faisant saillie à partir de la surface ; et une seconde structure adhésive faisant saillie à partir de la surface. La première structure adhésive et la seconde structure adhésive ont une flexibilité anisotrope parallèle à la surface. Les directions de flexibilité minimale de la première structure adhésive et de la seconde structure adhésive sont différentes.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)