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1. (WO2019042484) PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UNE COUCHE DE DIAMANT POREUX ET D'UNE COUCHE DE DIAMANT POREUX ÉPAISSE SOUTENUE PAR DES NANOFIBRES
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N° de publication : WO/2019/042484 N° de la demande internationale : PCT/CZ2017/050053
Date de publication : 07.03.2019 Date de dépôt international : 01.11.2017
CIB :
C23C 16/27 (2006.01)
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
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REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
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Revêtement chimique par décomposition de composés gazeux, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, c. à d. procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD)
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caractérisé par le dépôt de matériaux inorganiques, autres que des matériaux métalliques
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Dépôt uniquement de carbone
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Le diamant uniquement
Déposants :
FYZIKALNI USTAV AV CR, V.V.I. [CZ/CZ]; Na Slovance 1999/2 18221 Praha 8, CZ
USTAV FYZIKALNI CHEMIE J. HEYROVSKEHO AV CR, V. V. I. [CZ/CZ]; Dolejskova 2155/3 182 00 Praha 8 - Liben, CZ
Inventeurs :
MORTET, Vincent; CZ
TAYLOR, Andrew; CZ
KAVAN, Ladislav; CZ
FRANK, Otakar; CZ
VLCKOVA, Zuzana; CZ
KRYSOVA, Hana; CZ
PETRAK, Vaclav; CZ
Données relatives à la priorité :
PV 2017-50029.08.2017CZ
Titre (EN) METHOD OF MANUFACTURING A POROUS DIAMOND LAYER AND A NANOFIBER SUPPORTED THICK POROUS DIAMOND LAYER
(FR) PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UNE COUCHE DE DIAMANT POREUX ET D'UNE COUCHE DE DIAMANT POREUX ÉPAISSE SOUTENUE PAR DES NANOFIBRES
Abrégé :
(EN) The present invention discloses a method of manufacturing a porous diamond layer (6) and a nanofiber supported porous diamond body (7). The method comprising step of seeding of diamond nanoparticles into a nanofibers of any material susceptible withstand of plasma-enhanced deposition conditions. Seeded nanofibers are then mixed in a sacrificial material. This mixture is then applied on a substrate (2) and dried to form a solid nanofibers/sacrificial material composite film. Resulting composite film is then subjected to plasma enhanced chemical vapour deposition of the diamond under conditions where the sacrificial material is decomposed. These steps can be repeated for forming a nanofibers supported porous diamond layer (6) of a desired thickness. The diamond can be doped by boron. Such a conductive porous boron doped diamond layers (1, 6) serve for microelectronical (MEMS) applications where chemical stability is required. In particularly, porous conductive boron-doped diamond films can be employed as a sensors, supercapacitor and/or a filter to separate organic electrochemical substances.
(FR) La présente invention concerne un procédé de production d'une couche de diamant poreux (6) et d'un corps de diamant poreux soutenu par des nanofibres (7). Le procédé comprend une étape d'ensemencement de nanoparticules de diamant en nanofibres de n'importe quel matériau susceptible de résister à des conditions de dépôt améliorées par plasma. Les nanofibres ensemencées sont ensuite mélangées dans un matériau sacrificiel. Le mélange est ensuite appliqué sur un substrat (2) et séché en vue de former un film composite de nanofibres solides/matériau sacrificiel. Le film composite ainsi obtenu est ensuite soumis à un dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma du diamant, dans des conditions où le matériau sacrificiel est décomposé. Les étapes peuvent être répétées pour former une couche de diamant poreux soutenue par des nanofibres (6) d'une épaisseur souhaitée. Le diamant peut être dopé par du bore. De telles couches de diamant dopées au bore poreux conducteur (1, 6) servent à des applications de micro-électronique (MEMS), où une stabilité chimique est requise. En particulier, des films de diamant dopés au bore conducteur poreux peuvent être utilisés en tant que capteurs, supercondensateurs et/ou filtres en vue de séparer des substances électrochimiques organiques.
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Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)