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1. (WO2019032708) RÉACTEUR À MICRO-ONDES POUR LE DÉPÔT OU LE TRAITEMENT DE COMPOSÉS CARBONÉS
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N° de publication : WO/2019/032708 N° de la demande internationale : PCT/US2018/045820
Date de publication : 14.02.2019 Date de dépôt international : 08.08.2018
CIB :
H01J 37/32 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
32
Tubes à décharge en atmosphère gazeuse
Déposants :
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Inventeurs :
LIANG, Qiwei; US
ZHOU, Jie; US
KHAN, Adib M.; US
PISHARODY, Gautam; US
CHEN, Guannan; US
YING, Chentsau; US
NEMANI, Srinivas D.; US
Mandataire :
GOREN, David J.; US
Données relatives à la priorité :
15/879,37124.01.2018US
62/543,91410.08.2017US
Titre (EN) MICROWAVE REACTOR FOR DEPOSITION OR TREATMENT OF CARBON COMPOUNDS
(FR) RÉACTEUR À MICRO-ONDES POUR LE DÉPÔT OU LE TRAITEMENT DE COMPOSÉS CARBONÉS
Abrégé :
(EN) A plasma reactor for processing a workpiece includes a chamber having a dielectric window, a workpiece support to hold a workpiece in the chamber, a rotary coupling comprising a stationary stage configured to be coupled to a microwave source and a rotatable stage having an axis of rotation, a microwave antenna and overlying the dielectric window of the chamber, a rotary actuator to rotate the microwave antenna, and a process gas distributor including a gas distribution ring surrounding the workpiece support. The microwave antenna includes at least one conduit coupled to the rotable stage. The gas distribution ring including a cylindrical chamber liner separating a circular conduit from the chamber and a plurality of apertures extending radially through the liner to connect the conduit to the chamber.
(FR) Cette invention concerne un réacteur à plasma pour traiter une pièce à ouvrer, comprenant une chambre ayant une fenêtre diélectrique, un support de pièce à ouvrer pour maintenir une pièce à ouvrer dans la chambre, un joint rotatif comprenant un étage fixe configuré pour être relié à une source de micro-ondes et un étage rotatif ayant un axe de rotation, une antenne à micro-ondes et recouvrant la fenêtre diélectrique de la chambre, un actionneur rotatif pour faire tourner l'antenne à micro-ondes, et un distributeur de gaz de traitement comprenant un anneau de distribution de gaz entourant le support de pièce à ouvrer. L'antenne à micro-ondes comprend au moins un conduit relié à l'étage rotatif. L'anneau de distribution de gaz comprend un revêtement de chambre cylindrique séparant un conduit circulaire de la chambre et une pluralité d'ouvertures s'étendant radialement à travers le revêtement pour raccorder le conduit à la chambre.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)