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1. (WO2019031788) FENÊTRE DE TAMPON DE POLISSAGE TRAITÉE EN SURFACE ET TAMPON DE POLISSAGE LA COMPRENANT
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N° de publication : WO/2019/031788 N° de la demande internationale : PCT/KR2018/008895
Date de publication : 14.02.2019 Date de dépôt international : 06.08.2018
CIB :
B24B 37/20 (2012.01) ,B24B 37/013 (2012.01)
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
24
MEULAGE; POLISSAGE
B
MACHINES, DISPOSITIFS OU PROCÉDÉS POUR MEULER OU POUR POLIR; DRESSAGE OU REMISE EN ÉTAT DES SURFACES ABRASIVES; ALIMENTATION DES MACHINES EN MATÉRIAUX DE MEULAGE, DE POLISSAGE OU DE RODAGE
37
Machines ou dispositifs de rodage; Accessoires
11
Outils de rodage
20
Tampons de rodage pour travailler les surfaces planes
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
24
MEULAGE; POLISSAGE
B
MACHINES, DISPOSITIFS OU PROCÉDÉS POUR MEULER OU POUR POLIR; DRESSAGE OU REMISE EN ÉTAT DES SURFACES ABRASIVES; ALIMENTATION DES MACHINES EN MATÉRIAUX DE MEULAGE, DE POLISSAGE OU DE RODAGE
37
Machines ou dispositifs de rodage; Accessoires
005
Moyens de commande pour machines ou dispositifs de rodage
013
Dispositifs ou moyens pour détecter la fin de l'opération de rodage
Déposants :
에스케이씨 주식회사 SKC CO., LTD. [KR/KR]; 경기도 수원시 장안구 장안로 309번길 84 84, Jangan-ro 309beon-gil, Jangan-gu, Suwon-si, Gyeonggi-do 16336, KR
Inventeurs :
윤성훈 YUN, Sunghoon; KR
서장원 SEO, Jang Won; KR
안재인 AHN, Jaein; KR
윤종욱 YUN, Jong Wook; KR
허혜영 HEO, Hye Young; KR
Mandataire :
제일특허법인(유) FIRSTLAW P.C.; 서울시 서초구 마방로 60 60 Mabang-Ro, Seocho-Ku, Seoul 06775, KR
Données relatives à la priorité :
10-2017-009955907.08.2017KR
Titre (EN) SURFACE-TREATED POLISHING PAD WINDOW AND POLISHING PAD COMPRISING SAME
(FR) FENÊTRE DE TAMPON DE POLISSAGE TRAITÉE EN SURFACE ET TAMPON DE POLISSAGE LA COMPRENANT
(KO) 표면 처리된 연마패드용 윈도우 및 이를 포함하는 연마패드
Abrégé :
(EN) An embodiment relates to a polishing pad window which is surface-treated and thus can prevent an endpoint detection error that may be caused by wear of the window during a CMP process, and a polishing pad comprising the same.
(FR) Un mode de réalisation de l'invention concerne une fenêtre de tampon de polissage qui est traitée en surface et peut ainsi empêcher une erreur de détection de point d'extrémité qui peut être provoquée par l'usure de la fenêtre pendant un processus de CMP, ainsi qu'un tampon de polissage la comprenant.
(KO) 실시예는 표면 처리되어 CMP 공정 중 윈도우의 마모로 인해 발생할 수 있는 종점검출의 오류를 방지할 수 있는 연마패드용 윈도우 및 이를 포함하는 연마패드에 관한 것이다.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : coréen (KO)
Langue de dépôt : coréen (KO)