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1. (WO2019031566) ÉLÉMENT DE VIBRATION MEMS ET SON PROCÉDÉ DE PRODUCTION, ET ÉLÉMENT DE PRODUCTION D'ÉNERGIE DE VIBRATION
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N° de publication : WO/2019/031566 N° de la demande internationale : PCT/JP2018/029843
Date de publication : 14.02.2019 Date de dépôt international : 08.08.2018
CIB :
B81B 3/00 (2006.01) ,B81C 3/00 (2006.01) ,H02N 1/00 (2006.01) ,H02N 2/18 (2006.01)
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81
TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
B
DISPOSITIFS OU SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE, p.ex. DISPOSITIFS MICROMÉCANIQUES
3
Dispositifs comportant des éléments flexibles ou déformables, p.ex. comportant des membranes ou des lamelles élastiques
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81
TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
C
PROCÉDÉS OU APPAREILS SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À LA FABRICATION OU AU TRAITEMENT DE DISPOSITIFS OU DE SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE
3
Assemblage de dispositifs ou de systèmes à partir de composants qui ont reçu un traitement individuel
H ÉLECTRICITÉ
02
PRODUCTION, CONVERSION OU DISTRIBUTION DE L'ÉNERGIE ÉLECTRIQUE
N
MACHINES ÉLECTRIQUES NON PRÉVUES AILLEURS
1
Générateurs ou moteurs électrostatiques utilisant un porteur mobile de charge électrostatique qui est solide
H ÉLECTRICITÉ
02
PRODUCTION, CONVERSION OU DISTRIBUTION DE L'ÉNERGIE ÉLECTRIQUE
N
MACHINES ÉLECTRIQUES NON PRÉVUES AILLEURS
2
Machines électriques en général utilisant l'effet piézo-électrique, l'électrostriction ou la magnétostriction
18
fournissant une sortie électrique à partir d'une entrée mécanique, p.ex. générateurs
Déposants :
国立大学法人 静岡大学 NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION SHIZUOKA UNIVERSITY [JP/JP]; 静岡県静岡市駿河区大谷836 836, Ohya, Suruga-ku, Shizuoka-shi, Shizuoka 4228529, JP
株式会社鷺宮製作所 SAGINOMIYA SEISAKUSHO, INC. [JP/JP]; 東京都中野区若宮2丁目55番5号 55-5, Wakamiya 2-chome, Nakano-ku, Tokyo 1650033, JP
Inventeurs :
橋口 原 HASHIGUCHI, Gen; JP
古賀 英明 KOGA, Hideaki; JP
Mandataire :
永井 冬紀 NAGAI, Fuyuki; JP
池田 恵一 IKEDA, Keiichi; JP
Données relatives à la priorité :
2017-15447509.08.2017JP
Titre (EN) MEMS VIBRATION ELEMENT, PRODUCTION METHOD FOR MEMS VIBRATION ELEMENT, AND VIBRATION POWER GENERATION ELEMENT
(FR) ÉLÉMENT DE VIBRATION MEMS ET SON PROCÉDÉ DE PRODUCTION, ET ÉLÉMENT DE PRODUCTION D'ÉNERGIE DE VIBRATION
(JA) MEMS振動素子、MEMS振動素子の製造方法および振動発電素子
Abrégé :
(EN) A MEMS vibration element that comprises a base part, a fixed part that is fixed to the base part, a mobile part that can move relative to the fixed part, and an elastic support part that elastically supports the mobile part on the base part. The elastic support part is formed from a different material than the fixed part and the mobile part.
(FR) La présente invention concerne un élément de vibration MEMS qui comprend une partie base, une partie fixe qui est fixée à la partie base, une partie mobile qui peut se mouvoir par rapport à la partie fixe, et une partie support élastique qui soutient élastiquement la partie mobile sur la partie base. La partie support élastique est constituée d'un matériau différent de celui des parties fixe et mobile.
(JA) MEMS振動素子は、ベース部と、ベース部に固定された固定部と、固定部に対して可動する可動部と、可動部をベース部に弾性支持する弾性支持部とを備え、弾性支持部は、固定部および可動部とは別材料で形成されている。
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)