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1. (WO2019031301) DISPOSITIF D'ALIMENTATION EN FLUIDE, ANALYSEUR D’ÉCHANTILLON ET PROCÉDÉ D'ALIMENTATION EN FLUIDE
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N° de publication : WO/2019/031301 N° de la demande internationale : PCT/JP2018/028592
Date de publication : 14.02.2019 Date de dépôt international : 31.07.2018
CIB :
H01L 21/304 (2006.01) ,H01L 21/027 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
02
Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
04
les dispositifs présentant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface, p.ex. une jonction PN, une région d'appauvrissement, ou une région de concentration de porteurs de charges
18
les dispositifs ayant des corps semi-conducteurs comprenant des éléments du quatrième groupe de la Classification Périodique, ou des composés AIIIBV, avec ou sans impuretés, p.ex. des matériaux de dopage
30
Traitement des corps semi-conducteurs en utilisant des procédés ou des appareils non couverts par les groupes H01L21/20-H01L21/26162
302
pour changer leurs caractéristiques physiques de surface ou leur forme, p.ex. gravure, polissage, découpage
304
Traitement mécanique, p.ex. meulage, polissage, coupe
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
02
Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
027
Fabrication de masques sur des corps semi-conducteurs pour traitement photolithographique ultérieur, non prévue dans le groupe H01L21/18 ou H01L21/34187
Déposants :
株式会社フジキン FUJIKIN INCORPORATED [JP/JP]; 大阪府大阪市西区立売堀2丁目3番2号 3-2, Itachibori 2-chome, Nishi-ku, Osaka-city Osaka 5500012, JP
Inventeurs :
吉田 俊英 YOSHIDA Toshihide; JP
皆見 幸男 MINAMI Yukio; JP
篠原 努 SHINOHARA Tsutomu; JP
Mandataire :
藤本 健司 FUJIMOTO Kenji; JP
Données relatives à la priorité :
2017-15617710.08.2017JP
Titre (EN) FLUID SUPPLY DEVICE AND FLUID SUPPLY METHOD
(FR) DISPOSITIF D'ALIMENTATION EN FLUIDE, ANALYSEUR D’ÉCHANTILLON ET PROCÉDÉ D'ALIMENTATION EN FLUIDE
(JA) 流体供給装置および流体供給方法
Abrégé :
(EN) [Problem] To provide a fluid supply device and a fluid supply method that make it possible to stably supply a supercritical fluid. [Solution] A fluid supply device 1 that: supplies a fluid that is in a pre–supercritical fluid transformation liquid state toward a processing chamber 500; and has a condenser 130 that condenses and liquefies gaseous carbon dioxide, a tank 140 that stores fluid that has been condensed and liquefied by the condenser 130, a pump 150 that pressure-feeds the liquefied carbon dioxide stored in the tank 140 toward the processing chamber 500, and a damper part 10 that is provided on a flow path 2 that communicates with a discharge side of the pump 150, and suppresses periodic fluctuations in the pressure of fluid discharged from the pump 150. The damper 10 has a spiral tube 20 that is fixed at either end in a prescribed position and transmits the fluid discharged from the pump 150.
(FR) Le problème décrit par la présente invention consiste à fournir un dispositif et un procédé d'alimentation en fluide permettant de fournir une alimentation stable en fluide supercritique. La solution de l'invention concerne un dispositif d'alimentation en fluide (1) : qui fournit un fluide qui est dans un état liquide de transformation de fluide pré-supercritique vers une chambre de traitement (500) qui comporte un condenseur (130) qui condense et liquéfie du dioxyde de carbone gazeux, un réservoir (140) qui stocke un fluide qui a été condensé et liquéfié par le condenseur (130), une pompe (150) qui alimente en pression le dioxyde de carbone liquéfié stocké dans le réservoir (140) à destination de la chambre de traitement (500), et une partie d'amortisseur (10) qui est disposée sur un trajet d'écoulement (2) qui communique avec un côté d’évacuation de la pompe (150), et qui supprime des fluctuations périodiques de la pression de fluide évacuée de la pompe (150). L'amortisseur (10) a un tube en spirale (20) qui est fixé à l’une ou l’autre extrémité dans une position prescrite et qui transmet le fluide évacué de la pompe (150).
(JA) 【課題】超臨界流体を安定的に供給可能な流体供給装置および流体供給方法を提供する。 【解決手段】超臨界流体へ変化させる前の液体状態の流体を処理室500に向けて供給する流体供給装置1であって、気体状態の二酸化炭素を凝縮液化するコンデンサ130と、コンデンサ130により凝縮液化された流体を貯留するタンク140と、タンク140に貯留された液化された二酸化炭素を処理室500へ向けて圧送するポンプ150と、ポンプ150の吐出側と連通する流路2に設けられ、ポンプ150から吐出される液体の周期的な圧力変動を抑制するダンパ部10を有し、ダンパ部10は、両端部が所定の位置に固定され、かつ、ポンプ150から吐出される液体が流通するスパイラル状に形成されたスパイラル管20を有する。
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Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)