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1. (WO2019030863) RÉCIPIENT DE STOCKAGE DE SUBSTRAT
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N° de publication : WO/2019/030863 N° de la demande internationale : PCT/JP2017/028950
Date de publication : 14.02.2019 Date de dépôt international : 09.08.2017
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 : 20.07.2018
CIB :
H01L 21/673 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
673
utilisant des supports spécialement adaptés
Déposants :
ミライアル株式会社 MIRAIAL CO., LTD. [JP/JP]; 東京都豊島区東池袋1丁目24番1号 24-1, Higashi-Ikebukuro 1-chome, Toshima-ku, Tokyo 1700013, JP
Inventeurs :
松鳥 千明 MATSUTORI Chiaki; JP
Mandataire :
正林 真之 SHOBAYASHI Masayuki; JP
林 一好 HAYASHI Kazuyoshi; JP
岩池 満 IWAIKE Mitsuru; JP
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) SUBSTRATE STORAGE CONTAINER
(FR) RÉCIPIENT DE STOCKAGE DE SUBSTRAT
(JA) 基板収納容器
Abrégé :
(EN) This substrate storage container is provided with a container body, a lid member, a lateral substrate support portion, a lid-member-side substrate support portion, and a back-side substrate support portion 6. The substrate storage container is further provided with a clearing portion 83 which, when the lid member is opened from a container body opening portion that was closed by the lid member, clears a substrate W being supported by the back-side substrate support portion 6 and the lid-member-side substrate support portion from at least one of the back-side substrate support portion 6 and the lid-member-side substrate support portion.
(FR) L'invention concerne un récipient de stockage de substrat comprenant un corps de récipient, un élément couvercle, une partie de support de substrat latéral, une partie de support de substrat côté élément couvercle et une partie de support de substrat côté arrière 6. Le récipient de stockage de substrat comprend en outre une partie de dégagement 83 qui, lorsque l'élément couvercle est ouvert à partir d'une partie d'ouverture de corps de récipient qui a été fermée par l'élément couvercle, libère un substrat W porté par la partie de support de substrat côté arrière 6 et la partie de support de substrat côté élément couvercle à partir de la partie de support de substrat côté arrière 6 et/ou la partie de support de substrat côté élément couvercle.
(JA) 容器本体と、蓋体と、側方基板支持部と、蓋体側基板支持部と、奥側基板支持部6とを備える基板収納容器は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞された状態から、容器本体開口部から蓋体が開かれるときに、奥側基板支持部6及び蓋体側基板支持部によって支持されている状態の基板Wを、奥側基板支持部6と蓋体側基板支持部とのうちの少なくとも一方から取り払う取り払い部83と、を備える。
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)