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1. (WO2019030565) APPAREIL DE STOCKAGE POUR STOCKER DES CASSETTES POUR DES SUBSTRATS ET APPAREIL DE TRAITEMENT ÉQUIPÉ DE CELUI-CI
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N° de publication : WO/2019/030565 N° de la demande internationale : PCT/IB2018/001003
Date de publication : 14.02.2019 Date de dépôt international : 07.08.2018
CIB :
H01L 21/67 (2006.01) ,H01L 21/677 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
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Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
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pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
Déposants :
ASM IP HOLDING B.V. [NL/NL]; Versterkerstraat 8 1322 AP Almere, NL
Inventeurs :
GARSSEN, Adriaan; NL
DEN HARTOG BESSELINK, Edwin; NL
Données relatives à la priorité :
15/673,11009.08.2017US
62/585,28313.11.2017US
Titre (EN) STORAGE APPARATUS FOR STORING CASSETTES FOR SUBSTRATES AND PROCESSING APPARATUS EQUIPPED THEREWITH
(FR) APPAREIL DE STOCKAGE POUR STOCKER DES CASSETTES POUR DES SUBSTRATS ET APPAREIL DE TRAITEMENT ÉQUIPÉ DE CELUI-CI
Abrégé :
(EN) The invention relates to a storage apparatus to store cassettes for substrates comprising: a moveable base plate constructed and arranged to hold cassettes; an outer wall provided with an opening to receive and remove the cassettes from the base plate, and a moving device constructed and arranged to move the base plate with respect to the opening. The storage apparatus is provided with a stationary sensor near the opening for detecting at least one of a presence and a correct orientation of a substrate cassette on the base plate at the opening.
(FR) L'invention concerne un appareil de stockage pour stocker des cassettes pour des substrats, comprenant : une plaque de base mobile construite et agencée pour retenir des cassettes ; une paroi externe pourvue d'une ouverture pour recevoir les cassettes et les retirer de la plaque de base, et un dispositif mobile construit et agencé pour déplacer la plaque de base par rapport à l'ouverture. L'appareil de stockage est pourvu d'un capteur fixe à proximité de l'ouverture pour détecter la présence et/ou l'orientation correcte d'une cassette de substrat sur la plaque de base au niveau de l'ouverture.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)