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1. (WO2019030526) ÉVITEMENT DE COLLISION POUR INSTRUMENTS À FAISCEAU DE PARTICULES
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N° de publication : WO/2019/030526 N° de la demande internationale : PCT/GB2018/052266
Date de publication : 14.02.2019 Date de dépôt international : 09.08.2018
CIB :
G01N 23/2251 (2018.01) ,H01J 37/26 (2006.01)
[IPC code unknown for G01N 23/2251]
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
26
Microscopes électroniques ou ioniques; Tubes à diffraction d'électrons ou d'ions
Déposants :
OXFORD INSTRUMENTS NANOTECHNOLOGY TOOLS LIMITED [GB/GB]; Tubney Woods Abingdon Oxon OX13 5QX, GB
Inventeurs :
SWAN, Stuart Andrew; GB
MOLDOVAN, Grigore; GB
BEWICK, Angus; GB
Mandataire :
GILL JENNINGS & EVERY LLP; The Broadgate Tower 20 Primrose Street London EC2A 2ES, GB
Données relatives à la priorité :
1712788.709.08.2017GB
Titre (EN) COLLISION AVOIDANCE FOR PARTICLE BEAM INSTRUMENTS
(FR) ÉVITEMENT DE COLLISION POUR INSTRUMENTS À FAISCEAU DE PARTICULES
Abrégé :
(EN) A system for preventing collisions between components in a particle beam instrument is disclosed. The system is particularly beneficial in use with instruments wherein moveable components are used within a chamber that obscures them from being viewed from outside the chamber. The system comprises: a capacitance sensor configured to monitor the capacitance between a first component and a second component of the instrument, and a proximity module configured to: derive a capacitance parameter from the monitored capacitance between the first component and the second component; and output a proximity alert signal in accordance with a comparison between the derived capacitance parameter and a predetermined capacitance parameter threshold value.
(FR) L'invention concerne un système pour empêcher des collisions entre des éléments dans un instrument à faisceau de particules. Le système est particulièrement avantageux pour une utilisation avec des instruments dans lesquels des éléments mobiles sont utilisés à l'intérieur d'une chambre qui les empêche d'être vus depuis l'extérieur de la chambre. Le système comprend : un capteur de capacité configuré pour surveiller la capacité entre un premier élément et un second élément de l'instrument, et un module de proximité configuré pour : dériver un paramètre de capacité à partir de la capacité surveillée entre le premier élément et le second élément ; et délivrer en sortie un signal d'alerte de proximité en fonction d'une comparaison entre le paramètre de capacité dérivé et une valeur seuil de paramètre de capacité prédéterminée.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)