Certains contenus de cette application ne sont pas disponibles pour le moment.
Si cette situation persiste, veuillez nous contacter àObservations et contact
1. (WO2019030117) MATÉRIAU DE FORMATION DE CO-FILM CONTENANT DU GE, CO-FILM CONTENANT DU GE ET PROCÉDÉ DE FORMATION DE FILM CORRESPONDANT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication : WO/2019/030117 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/071036
Date de publication : 14.02.2019 Date de dépôt international : 02.08.2018
CIB :
C07F 15/06 (2006.01) ,C23C 16/18 (2006.01)
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
07
CHIMIE ORGANIQUE
F
COMPOSÉS ACYCLIQUES, CARBOCYCLIQUES OU HÉTÉROCYCLIQUES CONTENANT DES ÉLÉMENTS AUTRES QUE LE CARBONE, L'HYDROGÈNE, LES HALOGÈNES, L'OXYGÈNE, L'AZOTE, LE SOUFRE, LE SÉLÉNIUM OU LE TELLURE
15
Composés contenant des éléments du 8ème groupe de la classification périodique
06
Composés du cobalt
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
16
Revêtement chimique par décomposition de composés gazeux, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, c. à d. procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD)
06
caractérisé par le dépôt d'un matériau métallique
18
à partir de composés organométalliques
Déposants :
L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE [FR/FR]; 75, Quai d'Orsay 75007 PARIS, FR
Inventeurs :
ARTEAGA, Rocio; JP
BLASCO, Nicolas; FR
GIRARD, Jean-Marc; FR
KO, Changhee; JP
SANCHEZ, Antonio; JP
ROCHAT, Raphael; JP
Mandataire :
DE BEAUFORT, François-Xavier; FR
Données relatives à la priorité :
2017-15420209.08.2017JP
2018-11519518.06.2018JP
Titre (EN) Ge-CONTAINING Co-FILM FORMING MATERIAL, Ge-CONTAINING Co FILM AND FILM FORMING METHOD THEREOF
(FR) MATÉRIAU DE FORMATION DE CO-FILM CONTENANT DU GE, CO-FILM CONTENANT DU GE ET PROCÉDÉ DE FORMATION DE FILM CORRESPONDANT
Abrégé :
(EN) To provide a film forming material and a film forming process for forming, at a lower temperature, a Ge-containing Co film including a desired amount of Ge. A film forming material for forming a Ge-containing Co film according to the invention is represented by either formula (1) or formula (2) below R1R2R3Ge-Co(CO)4 (1) (where R1, R2 and R3 are each independently hydrogen, a nonaromatic hydrocarbon group, a halogeno group or a halogenated nonaromatic hydrocarbon group; however, the nonaromatic hydrocarbon group excludes a crosslinked nonaromatic hydrocarbon group, and the halogenated nonaromatic hydrocarbon group excludes a crosslinked halogenated nonaromatic hydrocarbon group) Co(CO)4R4R5Ge-Co(CO)4 (2) (where R4 and R5 are each independently hydrogen, a nonaromatic hydrocarbon group, a halogeno group or a halogenated nonaromatic hydrocarbon group; however, the nonaromatic hydrocarbon group excludes a crosslinked nonaromatic hydrocarbon group, and the halogenated nonaromatic hydrocarbon group excludes a crosslinked halogenated nonaromatic hydrocarbon group).
(FR) Le problème à résoudre par la présente invention concerne la fourniture d'un matériau de formation de film et un procédé de formation de film afin de former, à une température inférieure, un Co-film contenant du Ge qui comprend une quantité souhaitée de Ge. La présente invention concerne un matériau de formation de film pour former un co-film contenant du Ge représenté par la formule (1) ou la formule (2) suivante R1R2R3Ge-Co(CO)4 (1) (dans laquelle R1, R2 et R3 représentent chacun indépendamment l'hydrogène, un groupe hydrocarboné non aromatique, un groupe halogéno ou un groupe hydrocarboné non aromatique halogéné; cependant, le groupe hydrocarboné non aromatique exclut un groupe hydrocarboné non aromatique réticulé, et le groupe hydrocarboné non aromatique halogéné exclut un groupe hydrocarboné non aromatique halogéné réticulé) Co(CO)4R4R5Ge-Co(CO)4 (2) (dans laquelle R4 et R5 représentent chacun indépendamment l'hydrogène, un groupe hydrocarboné non aromatique, un groupe halogéno ou un groupe hydrocarboné non aromatique halogéné; cependant, le groupe hydrocarboné non aromatique exclut un groupe hydrocarboné non aromatique réticulé, et le groupe hydrocarboné non aromatique halogéné exclut un groupe hydrocarboné non aromatique halogéné réticulé).
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)