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1. (WO2019030038) CAPTEUR DE VITESSE DE ROTATION COMPORTANT UN SUBSTRAT, PROCÉDÉ DE FABRICATION D’UN CAPTEUR DE VITESSE DE ROTATION
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N° de publication : WO/2019/030038 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/070575
Date de publication : 14.02.2019 Date de dépôt international : 30.07.2018
CIB :
G01C 19/5733 (2012.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
C
MESURE DES DISTANCES, DES NIVEAUX OU DES RELÈVEMENTS; GÉODÉSIE; NAVIGATION; INSTRUMENTS GYROSCOPIQUES; PHOTOGRAMMÉTRIE OU VIDÉOGRAMMÉTRIE
19
Gyroscopes; Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes; Dispositifs sensibles à la rotation sans masse en mouvement; Mesure de la vitesse angulaire en utilisant les effets gyroscopiques
56
Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes, p.ex. capteurs vibratoires de vitesse angulaire basés sur les forces de Coriolis
5719
utilisant des masses planaires vibrantes entraînées dans une vibration de translation le long d’un axe
5733
Details de structure ou topologie
Déposants :
ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Inventeurs :
LINCK-LESCANNE, Markus; DE
CARDANOBILE, Stefano; DE
Données relatives à la priorité :
10 2017 213 815.708.08.2017DE
Titre (EN) ROTATIONAL RATE SENSOR COMPRISING A SUBSTRATE, METHOD FOR PRODUCING A ROTATIONAL RATE SENSOR
(FR) CAPTEUR DE VITESSE DE ROTATION COMPORTANT UN SUBSTRAT, PROCÉDÉ DE FABRICATION D’UN CAPTEUR DE VITESSE DE ROTATION
(DE) DREHRATENSENSOR MIT EINEM SUBSTRAT, HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINEN DREHRATENSENSOR
Abrégé :
(EN) The invention relates to a rotational rate sensor (1) comprising a substrate, wherein the rotational rate sensor comprises at least one first compensation structure (10) and at least one second compensation structure (20). The first compensation structure (10) is formed by applying a voltage for a quadrature compensating in a first direction, and the second compensation structure (20) is formed by applying another voltage for a quadrature compensation in a second direction. The invention is characterized in that the first compensation structure (10) and the second compensation structure (20) are designed to at least partly adjoin each other as a compensation structure pair (30).
(FR) L’invention concerne un capteur de vitesse de rotation (1) comportant un substrat. Le capteur de vitesse de rotation comprend au moins une première structure de compensation (10) et au moins une deuxième structure de compensation (20). La première structure de compensation (10) est formée par application d’une tension de compensation en quadrature dans une première direction et la deuxième structure de compensation (20) est formée par application d’une autre tension de compensation en quadrature dans une deuxième direction. L’invention est caractérisée en ce que la première structure de compensation (10) et la deuxième structure de compensation (20) sont formées au moins en partie de manière adjacente l’une à l’autre comme une paire de structures de compensation (30).
(DE) Es wird ein Drehratensensor (1) mit einem Substrat beansprucht, wobei der Drehratensensor mindestens eine erste Kompensationsstruktur (10) und mindestens eine zweite Kompensationsstruktur (20) umfasst, wobei die erste Kompensationsstruktur (10) durch Anlegen einer Spannung zur Quadraturkompensation in eine erste Richtung und die zweite Kompensationsstruktur (20) durch Anlegen einer weiteren Spannung zur Quadraturkompensation in eine zweite Richtung ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Kompensationsstruktur (10) und die zweite Kompensationsstruktur (20) zumindest teileweise aneinander angrenzend als Kompensationsstrukturenpaar (30) ausgebildet sind.
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Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)