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1. (WO2019029912) RÉSONATEUR BAW À MODES PARASITES RÉDUITS ET FACTEUR DE QUALITÉ ACCRU
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N° de publication : WO/2019/029912 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/067969
Date de publication : 14.02.2019 Date de dépôt international : 03.07.2018
CIB :
H03H 3/02 (2006.01) ,H03H 9/02 (2006.01) ,H03H 9/17 (2006.01) ,H03H 9/13 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
03
CIRCUITS ÉLECTRONIQUES FONDAMENTAUX
H
RÉSEAUX D'IMPÉDANCES, p.ex. CIRCUITS RÉSONNANTS; RÉSONATEURS
3
Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication de réseaux d'impédance, de circuits résonnants, de résonateurs
007
pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux électromécaniques
02
pour la fabrication de résonateurs ou de réseaux piézo-électriques ou électrostrictifs
H ÉLECTRICITÉ
03
CIRCUITS ÉLECTRONIQUES FONDAMENTAUX
H
RÉSEAUX D'IMPÉDANCES, p.ex. CIRCUITS RÉSONNANTS; RÉSONATEURS
9
Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques
02
Détails
H ÉLECTRICITÉ
03
CIRCUITS ÉLECTRONIQUES FONDAMENTAUX
H
RÉSEAUX D'IMPÉDANCES, p.ex. CIRCUITS RÉSONNANTS; RÉSONATEURS
9
Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques
15
Détails de réalisation de résonateurs se composant de matériau piézo-électrique ou électrostrictif
17
ayant un résonateur unique
H ÉLECTRICITÉ
03
CIRCUITS ÉLECTRONIQUES FONDAMENTAUX
H
RÉSEAUX D'IMPÉDANCES, p.ex. CIRCUITS RÉSONNANTS; RÉSONATEURS
9
Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques
02
Détails
125
Moyens d'excitation, p.ex. électrodes, bobines
13
pour réseaux se composant de matériaux piézo-électriques ou électrostrictifs
Déposants :
RF360 EUROPE GMBH [DE/DE]; Anzinger Str. 13 81671 München, DE
Inventeurs :
POLLARD, Thomas; US
NATH, Janardan; US
KOUTSAROFF, Ivoyl; US
Mandataire :
EPPING HERMANN FISCHER PATENTANWALTSGESELLSCHAFT MBH; Schloßschmidstr. 5 80639 München, DE
Données relatives à la priorité :
10 2017 117 870.807.08.2017DE
Titre (EN) BAW RESONATOR WITH REDUCED SPURIOUS MODES AND INCREASED QUALITY FACTOR
(FR) RÉSONATEUR BAW À MODES PARASITES RÉDUITS ET FACTEUR DE QUALITÉ ACCRU
Abrégé :
(EN) An electrically and acoustically improved resonator is provided. The resonator (BAWR) has a center region (CR) and a termination region (TER) surrounding the center region. A trench (TR) in a top electrode (TE), a frame (FR) on the top electrode, a flap structure (FS) connected to the frame and a notch (NO) in a piezoelectric layer reduce spurious modes and increase the quality factor of the resonator. A lateral Bragg reflector may be realized with a Bragg structure (BS) on a signal conductor (SC) in the top electrode layer spanning the notch.
(FR) L'invention concerne un résonateur amélioré électriquement et acoustiquement. Le résonateur (BAWR) présente une région centrale (CR) et une région de terminaison (TER) entourant la région centrale. Une tranchée (TR) dans une électrode supérieure (TE), un cadre (FR) sur l'électrode supérieure, une structure à volet (FS) reliée au cadre et une encoche (NO) dans une couche piézoélectrique réduisent les modes parasites et augmentent le facteur de qualité du résonateur. Un réflecteur de Bragg latéral peut être obtenu à l'aide d'une structure de Bragg (BS) sur un conducteur de signal (SC) dans la couche d'électrode supérieure recouvrant l'encoche.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
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Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)