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1. (WO2019028416) SONDE THERMIQUEMENT STABLE RÉSISTANTE À LA DÉRIVE POUR MICROSCOPE À SONDE À BALAYAGE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION
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N° de publication : WO/2019/028416 N° de la demande internationale : PCT/US2018/045254
Date de publication : 07.02.2019 Date de dépôt international : 03.08.2018
CIB :
G01Q 60/38 (2010.01) ,B82Y 35/00 (2011.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
Q
TECHNIQUES OU APPAREILS À SONDE À BALAYAGE; APPLICATIONS DES TECHNIQUES DE SONDE À BALAYAGE, p.ex. MICROSCOPIE À SONDE À BALAYAGE [SPM]
60
Types particuliers de microscopie à sonde à balayage SPM [Scanning-Probe Microscopy] ou appareils à cet effet; Composants essentiels de ceux-ci
24
Microscopie à forces atomiques AFM [Atomic Force Microscopy] ou appareils à cet effet, p.ex. sondes AFM
38
Sondes, leur fabrication ou leur instrumentation correspondante, p.ex. supports
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
82
NANOTECHNOLOGIE
Y
UTILISATION OU APPLICATIONS SPÉCIFIQUES DES NANOSTRUCTURES; MESURE OU ANALYSE DES NANOSTRUCTURES; FABRICATION OU TRAITEMENT DES NANOSTRUCTURES
35
Procédés ou appareils pour la mesure ou l’analyse des nanostructures
Déposants :
BRUKER NANO, INC. [US/US]; 112 Robin Hill Road Santa Barbara, CA 93117, US
Inventeurs :
WONG, Jeffrey K.; US
MUKHOPADHYAY, Deepkishore; US
Mandataire :
DURST, Jay G.; Boyle Fredrickson, S.C. 840 N. Plankinton Ave Milwaukee, WI 53203, US
Données relatives à la priorité :
62/540,95903.08.2017US
62/541,61704.08.2017US
Titre (EN) THERMALLY STABLE, DRIFT RESISTANT PROBE FOR A SCANNING PROBE MICROSCOPE AND METHOD OF MANUFACTURE
(FR) SONDE THERMIQUEMENT STABLE RÉSISTANTE À LA DÉRIVE POUR MICROSCOPE À SONDE À BALAYAGE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION
Abrégé :
(EN) A probe assembly for a surface analysis instrument such as an atomic force microscope (AFM) that accommodates potential thermal drift effects includes a substrate defining a base of the probe assembly, a cantilever extending from the base and having a distal end, and a reflective pad disposed at or near the distal end. The reflective pad has a lateral dimension (e.g., length) between about twenty-five (25) microns, and can be less than a micron. Ideally, the reflective pad is patterned on the cantilever using photolithography. A corresponding method of manufacture of the thermally stable, drift resistant probe is also provided.
(FR) L'invention concerne un ensemble sonde d'un instrument d'analyse de surface tel qu'un microscope à force atomique (AFM) qui reçoit des effets de dérive thermique potentiels comprenant un substrat délimitant une base de l'ensemble sonde, un bras en porte-à-faux s'étendant à partir de la base et présentant une extrémité distale, et un tampon réfléchissant disposé au niveau ou à proximité de l'extrémité distale. Le tampon réfléchissant présente une dimension latérale (par exemple, une longueur) comprise entre environ vingt-cinq (25) microns et moins d'un micron. Idéalement, le tampon réfléchissant est modelé sur le bras en porte-à-faux à l'aide d'une photolithographie. L'invention concerne également un procédé de fabrication correspondant de la sonde thermiquement stable résistante à la dérive.
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)