Certains contenus de cette application ne sont pas disponibles pour le moment.
Si cette situation persiste, veuillez nous contacter àObservations et contact
1. (WO2019027863) ÉLÉMENT D'ALIMENTATION EN GAZ AVEC DÉFLECTEUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication : WO/2019/027863 N° de la demande internationale : PCT/US2018/044293
Date de publication : 07.02.2019 Date de dépôt international : 30.07.2018
CIB :
H01L 21/67 (2006.01) ,C23C 16/44 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
16
Revêtement chimique par décomposition de composés gazeux, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, c. à d. procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD)
44
caractérisé par le procédé de revêtement
Déposants :
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Inventeurs :
SHAH, Kartik; US
PANDEY, Vishwas Kumar; IN
PRADHAN, Kailash; US
TALLAVARJULA, Sairaju; US
GEORGE, Rene; US
SHONO, Eric Kihara; US
BOTTINI, Philip A.; US
CURTIS, Roger; US
Mandataire :
PATTERSON, B. Todd; US
DOUGHERTY, Chad M.; US
Données relatives à la priorité :
20174102709931.07.2017IN
Titre (EN) GAS SUPPLY MEMBER WITH BAFFLE
(FR) ÉLÉMENT D'ALIMENTATION EN GAZ AVEC DÉFLECTEUR
Abrégé :
(EN) A gas supply member includes a first side opposite a second side and an inner surface defining a first opening extending between the first and second sides. The gas supply member includes a third side orthogonal to the first side, the third side includes a first extension that has a face partially defining the second side, and the first extension includes a first plurality of holes extending through the first extension to the face. The gas supply member includes a fourth side opposite the third side, the fourth side includes a protrusion that has a face partially defining the second side. The gas supply member also includes a baffle disposed adjacent to the inner surface, the baffle includes a first portion extending from the inner surface and a second portion attached to the first portion, and the second portion orthogonal to the first portion and parallel to the third side.
(FR) L'invention concerne un élément d'alimentation en gaz comprenant un premier côté opposé à un second côté et une surface interne définissant une première ouverture s'étendant entre les premier et second côtés. L'élément d'alimentation en gaz comprend un troisième côté orthogonal au premier côté, le troisième côté comprend une première extension qui a une face définissant partiellement le second côté, et la première extension comprend une première pluralité de trous s'étendant à travers la première extension vers la face. L'élément d'alimentation en gaz comprend un quatrième côté opposé au troisième côté, le quatrième côté comprend une saillie qui a une face définissant partiellement le second côté. L'élément d'alimentation en gaz comprend également un déflecteur disposé adjacent à la surface interne, le déflecteur comprenant une première partie s'étendant à partir de la surface interne et une seconde partie fixée à la première partie, et la seconde partie étant orthogonale à la première partie et parallèle au troisième côté.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)