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1. (WO2019027645) SILICÈNE MONO- ET MULTICOUCHE PRÉPARÉ PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR ASSISTÉ PAR PLASMA
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N° de publication : WO/2019/027645 N° de la demande internationale : PCT/US2018/041749
Date de publication : 07.02.2019 Date de dépôt international : 12.07.2018
CIB :
H01L 21/02 (2006.01) ,H01L 21/324 (2006.01) ,C23C 16/455 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
02
Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
02
Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
04
les dispositifs présentant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface, p.ex. une jonction PN, une région d'appauvrissement, ou une région de concentration de porteurs de charges
18
les dispositifs ayant des corps semi-conducteurs comprenant des éléments du quatrième groupe de la Classification Périodique, ou des composés AIIIBV, avec ou sans impuretés, p.ex. des matériaux de dopage
30
Traitement des corps semi-conducteurs en utilisant des procédés ou des appareils non couverts par les groupes H01L21/20-H01L21/26162
324
Traitement thermique pour modifier les propriétés des corps semi-conducteurs, p.ex. recuit, frittage
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
16
Revêtement chimique par décomposition de composés gazeux, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, c. à d. procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD)
44
caractérisé par le procédé de revêtement
455
caractérisé par le procédé utilisé pour introduire des gaz dans la chambre de réaction ou pour modifier les écoulements de gaz dans la chambre de réaction
Déposants :
THE GOVERNMENT OF THE UNITED STATES OF AMERICA, AS REPRESENTED BY THE SECRETARY OF THE NAVY [US/US]; Naval Research Laboratory 875 North Randolph Street, Suite 1425 Arlington, VA 22203, US
Inventeurs :
LIU, Xiao; US
JUGDERSUREN, Battogtokh; US
Mandataire :
BROOME, Kerry, L.; US
Données relatives à la priorité :
62/541,12504.08.2017US
Titre (EN) MONO- AND MULTILAYER SILICENE PREPARED BY PLASMA-ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
(FR) SILICÈNE MONO- ET MULTICOUCHE PRÉPARÉ PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR ASSISTÉ PAR PLASMA
Abrégé :
(EN) Processes for fabricating multi- and monolayer silicene on catalyst metal surfaces by means of plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD). Silicene is grown by means of PECVD from a starting mixture of H2 and SiH4 having an H2: SiH4 ratio of 100 to 400 on an Ag(111) substrate having a substrate temperature between 20 °C and 290 °C, with the deposition being performed for about 10-25 minutes at an RF power between 10W and 500W and under a chamber pressure between about 100 mTorr and 1300 mTorr. In most cases, the substrate will be in the form of an Ag(111) film sputtered on a fused silica substrate. A multi-layer silicene film can be formed by extending the deposition time past 25 minutes.
(FR) Cette invention concerne des procédés de fabrication de silicène multi- et monocouche sur des surfaces métalliques de catalyseur par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD). Le silicène est développé par PECVD à partir d'un mélange de départ de H2 et de SiH4 ayant un rapport H2:SiH4 de 100 à 400 sur un substrat d'Ag(111) ayant une température de substrat comprise entre 20 °C et 290 °C, le dépôt étant effectué pendant environ 10 à 25 minutes à une puissance RF comprise entre 10W et 500W et sous une pression de chambre comprise entre environ 100 mTorr et 1300 mTorr. Dans la plupart des cas, le substrat se présente sous la forme d'un film d'Ag(111) pulvérisé sur un substrat de silice fondue. Un film de silicène multicouche peut être formé par prolongation du temps de dépôt au-delà de 25 minutes.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)