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1. (WO2019026609) DISPOSITIF D'EXPOSITION
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N° de publication : WO/2019/026609 N° de la demande internationale : PCT/JP2018/026727
Date de publication : 07.02.2019 Date de dépôt international : 17.07.2018
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20
Exposition; Appareillages à cet effet
Déposants :
株式会社ブイ・テクノロジー V TECHNOLOGY CO., LTD. [JP/JP]; 神奈川県横浜市保土ヶ谷区神戸町134番地 134, Godo-cho, Hodogaya-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2400005, JP
Inventeurs :
米澤 良 YONEZAWA Makoto; JP
Mandataire :
坂田 ゆかり SAKATA Yukari; JP
Données relatives à la priorité :
2017-14884801.08.2017JP
Titre (EN) EXPOSURE DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'EXPOSITION
(JA) 露光装置
Abrégé :
(EN) In scanning exposure light, it is possible to derive the positional relationship of a component on which a mark is formed and a component on which a mark is not formed. An exposure device for moving a mask-holding part (20) in a first direction and exposing the mask-holding part (20), wherein a template (25) is provided on a side surface (20d) of the mask-holding part (20) that is substantially perpendicular to the first direction. When light is irradiated from a light irradiation unit onto the template (25), a camera (18) reads an image in which a pattern irradiated from the light irradiation unit overlaps with a pattern formed on the template (25).
(FR) Lors du balayage de la lumière d'exposition, il est possible de déduire la relation de position entre un composant sur lequel une marque est formée et un composant sur lequel une marque n'est pas formée. L'invention concerne un dispositif d'exposition pour déplacer une pièce de support de masque (20) dans une première direction et pour exposer la pièce de support de masque (20), un gabarit (25) étant disposé sur une surface latérale (20d) de la pièce de support de masque (20) qui est sensiblement perpendiculaire à la première direction. Lorsque la lumière est irradiée sur le gabarit (25) à partir d'un module d'irradiation de lumière, un appareil photo (18) lit une image dans laquelle un motif irradié par le module d'irradiation de lumière chevauche un motif formé sur le gabarit (25).
(JA) 走査露光においてマークを形成した部品とマークを形成していない部品との位置関係を求めることができる。 マスク保持部(20)を第1方向に移動させて露光する露光装置であり、マスク保持部(20)の、第1方向と略直交する側面(20d)にテンプレート(25)が設けられる。光照射部からテンプレート(25)に向けて光が照射されると、カメラ(18)は、光照射部から照射されたパターンと、テンプレート(25)に形成されたパターンとが重なった画像を読み取る。
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)