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1. (WO2019026456) ÉLÉMENT DE DÉTECTION DE VIBRATIONS ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
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N° de publication : WO/2019/026456 N° de la demande internationale : PCT/JP2018/023549
Date de publication : 07.02.2019 Date de dépôt international : 21.06.2018
CIB :
G01N 5/02 (2006.01) ,B81B 3/00 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
N
RECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
5
Analyse des matériaux par pesage, p.ex. pesage des fines particules séparées d'un gaz ou d'un liquide
02
en absorbant ou adsorbant les constituants d'un matériau et en déterminant la variation de poids de l'adsorbant, p.ex. en déterminant la teneur en eau
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81
TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
B
DISPOSITIFS OU SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE, p.ex. DISPOSITIFS MICROMÉCANIQUES
3
Dispositifs comportant des éléments flexibles ou déformables, p.ex. comportant des membranes ou des lamelles élastiques
Déposants :
加藤 史仁 KATO Fumihito [JP/JP]; JP (JP)
国立大学法人大阪大学 OSAKA UNIVERSITY [JP/JP]; 大阪府吹田市山田丘1番1号 1-1, Yamadaoka, Suita-shi, Osaka 5650871, JP
サムコ株式会社 SAMCO INC. [JP/JP]; 京都府京都市伏見区竹田藁屋町36番地 Warayacho 36, Takeda, Fushimiku, Kyoto-shi, Kyoto 6128443, JP (JP)
Inventeurs :
加藤 史仁 KATO Fumihito; JP
荻 博次 OGI Hirotsugu; JP
野中 知行 NONAKA Tomoyuki; JP
Mandataire :
松山 隆夫 MATSUYAMA Takao; JP
Données relatives à la priorité :
2017-14879301.08.2017JP
Titre (EN) VIBRATION DETECTION ELEMENT AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
(FR) ÉLÉMENT DE DÉTECTION DE VIBRATIONS ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(JA) 振動検出素子およびその製造方法
Abrégé :
(EN) A vibration detection element (10) is provided with base material sections (1-3), a supporting member (22), a supporting member (32), and a vibrator (4). The base material sections (1-3) include a space section (SP) having a bottom surface (21A) and a bottom surface (31A) facing the bottom surface (21A). The supporting member (22) protrudes in the direction from the bottom surface (21A) to the bottom surface (31A) of the space section (SP). The supporting member (32) protrudes in the direction from the bottom surface (31A) to the bottom surface (21A) of the space section. The vibrator (4) is disposed in contact with the supporting member (22) or the supporting member (32) such that the vibrator can vibrate in the space section (SP), said vibrator having a thickness less than 10 μm. Each of the supporting members (22, 32) includes a plurality of supporting sections that prevent the vibrator (4) from coming into contact with the bottom surface (21A) or the bottom surface (31A).
(FR) L'invention concerne un élément de détection de vibrations (10) comprenant des sections de matériau de base (1-3), d'un élément de soutien (22), un élément de soutien (32) et un vibreur (4). Les sections de matériau de base (1-3) comprennent une section d'espace (SP) présentant une surface inférieure (21A) et une surface inférieure (31A) faisant face à la surface inférieure (21A). L'élément de soutien (22) fait saillie dans la direction depuis la surface inférieure (21A) vers la surface inférieure (31A) de la section d'espace (SP). L'élément de soutien (32) fait saillie dans la direction depuis la surface inférieure (31A) vers la surface inférieure (21A) de la section d'espace. Le vibreur (4) est disposé en contact avec l'élément de soutien (22) ou l'élément de soutien (32) de telle sorte que le vibreur puisse vibrer dans la section d'espace (SP), ledit vibreur présentant une épaisseur inférieure à 10 µm. Chacun des éléments de soutien (22, 32) comprend une pluralité de sections de soutien qui empêchent le vibreur (4) d'entrer en contact avec la surface inférieure (21A) ou la surface inférieure (31A).
(JA) 振動検出素子(10)は、基材(1~3)と、支持部材(22)と、支持部材(32)と、振動子(4)とを備える。基材(1~3)は、底面(21A)と底面(21A)に対向する底面(31A)とを有する空間部(SP)を含む。支持部材(22)は、空間部(SP)の底面(21A)から底面(31A)の方向へ突出する。支持部材(32)は、空間部の底面(31A)から底面(21A)の方向へ突出する。振動子(4)は、空間部(SP)内において振動可能に支持部材(22)または支持部材(32)に接して配置され、10μm未満の厚みを有する。支持部材(22,32)の各々は、振動子(4)が底面(21A)または底面(31A)に接触するのを防止する複数の支持部を含む。
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Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)