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1. (WO2019026417) SYSTÈME D'ALIMENTATION EN GAZ
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N° de publication : WO/2019/026417 N° de la demande internationale : PCT/JP2018/021739
Date de publication : 07.02.2019 Date de dépôt international : 06.06.2018
CIB :
F16K 7/16 (2006.01) ,F16K 31/44 (2006.01) ,F16K 31/50 (2006.01) ,H01L 21/31 (2006.01)
F MÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
16
ÉLÉMENTS OU ENSEMBLES DE TECHNOLOGIE; MESURES GÉNÉRALES POUR ASSURER LE BON FONCTIONNEMENT DES MACHINES OU INSTALLATIONS; ISOLATION THERMIQUE EN GÉNÉRAL
K
SOUPAPES; ROBINETS; VANNES; COMMANDES À FLOTTEURS; DISPOSITIFS POUR VENTILER OU AÉRER
7
Dispositifs d'obturation à diaphragme, p.ex. dont un élément est déformé, sans être déplacé entièrement, pour fermer l'ouverture
12
à diaphragme plat, en forme d'assiette ou en forme de bol
14
disposé pour être déformé contre un siège plat
16
le diaphragme étant actionné mécaniquement, p.ex. par une tige filetée ou par came
F MÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
16
ÉLÉMENTS OU ENSEMBLES DE TECHNOLOGIE; MESURES GÉNÉRALES POUR ASSURER LE BON FONCTIONNEMENT DES MACHINES OU INSTALLATIONS; ISOLATION THERMIQUE EN GÉNÉRAL
K
SOUPAPES; ROBINETS; VANNES; COMMANDES À FLOTTEURS; DISPOSITIFS POUR VENTILER OU AÉRER
31
Moyens de fonctionnement; Dispositifs de retour à la position de repos
44
Moyens mécaniques d'actionnement
F MÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
16
ÉLÉMENTS OU ENSEMBLES DE TECHNOLOGIE; MESURES GÉNÉRALES POUR ASSURER LE BON FONCTIONNEMENT DES MACHINES OU INSTALLATIONS; ISOLATION THERMIQUE EN GÉNÉRAL
K
SOUPAPES; ROBINETS; VANNES; COMMANDES À FLOTTEURS; DISPOSITIFS POUR VENTILER OU AÉRER
31
Moyens de fonctionnement; Dispositifs de retour à la position de repos
44
Moyens mécaniques d'actionnement
50
à tige-guide filetée
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
02
Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
04
les dispositifs présentant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface, p.ex. une jonction PN, une région d'appauvrissement, ou une région de concentration de porteurs de charges
18
les dispositifs ayant des corps semi-conducteurs comprenant des éléments du quatrième groupe de la Classification Périodique, ou des composés AIIIBV, avec ou sans impuretés, p.ex. des matériaux de dopage
30
Traitement des corps semi-conducteurs en utilisant des procédés ou des appareils non couverts par les groupes H01L21/20-H01L21/26162
31
pour former des couches isolantes en surface, p.ex. pour masquer ou en utilisant des techniques photolithographiques; Post-traitement de ces couches; Emploi de matériaux spécifiés pour ces couches
Déposants :
株式会社フジキン FUJIKIN INCORPORATED [JP/JP]; 大阪府大阪市西区立売堀2丁目3番2号 3-2, Itachibori 2-chome, Nishi-ku, Osaka-shi, Osaka 5500012, JP
Inventeurs :
三浦 尊 MIURA Takeru; JP
中田 知宏 NAKATA Tomohiro; JP
稲田 敏之 INADA Toshiyuki; JP
渡辺 一誠 WATANABE Kazunari; JP
近藤 研太 KONDO Kenta; JP
佐藤 秀信 SATO Hidenobu; JP
Mandataire :
長門 侃二 NAGATO, Kanji; JP
Données relatives à la priorité :
2017-14751331.07.2017JP
Titre (EN) GAS SUPPLY SYSTEM
(FR) SYSTÈME D'ALIMENTATION EN GAZ
(JA) ガス供給システム
Abrégé :
(EN) This gas supply system (1) is provided with: an automatic valve (18) which is provided in a flow passage (6) and which automatically opens and closes to regulate the flow rate of process gas to be supplied to a chamber (4); and a manual valve (20) provided in the flow passage (6) at a position downstream of the automatic valve (18) and closest to the chamber (4), and opened and closed manually to adjust the flow rate of the process gas. The manual valve (20) is a direct diaphragm valve having a diaphragm (24) which is seated on and separated from a seat (44) in coordination with a stem (32) and a disk (28) as the manual valve (20) is opened and closed. The manual valve (20) has a stroke regulation mechanism (36) for regulating the valve stroke.
(FR) L'invention concerne un système d'alimentation en gaz (1) comprenant : une soupape automatique (18) qui est disposée dans un passage d'écoulement (6) et qui s'ouvre et se ferme automatiquement pour réguler le débit du gaz de traitement devant être fourni à une chambre (4) ; et une soupape manuelle (20) disposée dans le passage d'écoulement (6) à une position en aval de la soupape automatique (18) et à une position la plus proche de la chambre (4), la soupape manuelle étant ouverte et fermée manuellement pour ajuster le débit du gaz de traitement. La soupape manuelle (20) est une soupape à membrane directe ayant une membrane (24) placée sur un siège (44) et séparée du siège (44) en coordination avec une tige (32) et un disque (28) lorsque la soupape manuelle (20) est ouverte et fermée. La soupape manuelle (20) possède un mécanisme de régulation de course (36) permettant de réguler la course de la soupape.
(JA) ガス供給システム(1)は、流路(6)に設けられて自動開閉によりチャンバ(4)に供給するプロセスガスの流量を調整する自動弁(18)と、流路(6)における自動弁(18)の下流であってチャンバ(4)の直近に設けられ、手動開閉によりプロセスガスの流量を調整する手動弁(20)とを備え、手動弁(20)は、開閉に伴いステム(32)及びディスク(28)と連動し、シート(44)に着座及び離座するダイヤフラム(24)を有するダイレクトダイヤフラム弁であって、バルブストロークを調整するストローク調整機構(36)を有する。
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)