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1. (WO2019025211) DISPOSITIF MICROMÉCANIQUE DE CAPTEUR DE PRESSION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION CORRESPONDANT
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N° de publication : WO/2019/025211 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/069804
Date de publication : 07.02.2019 Date de dépôt international : 20.07.2018
CIB :
G01L 9/00 (2006.01) ,G01L 9/02 (2006.01) ,G01L 9/04 (2006.01) ,G01L 13/02 (2006.01) ,G01L 15/00 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
L
MESURE DES FORCES, DES CONTRAINTES, DES COUPLES, DU TRAVAIL, DE LA PUISSANCE MÉCANIQUE, DU RENDEMENT MÉCANIQUE OU DE LA PRESSION DES FLUIDES
9
Mesure de la pression permanente, ou quasi permanente d'un fluide ou d'un matériau solide fluent par des éléments électriques ou magnétiques sensibles à la pression; Transmission ou indication par des moyens électriques ou magnétiques du déplacement des éléments mécaniques sensibles à la pression, utilisés pour mesurer la pression permanente ou quasi permanente d'un fluide ou d'un matériau solide fluent
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
L
MESURE DES FORCES, DES CONTRAINTES, DES COUPLES, DU TRAVAIL, DE LA PUISSANCE MÉCANIQUE, DU RENDEMENT MÉCANIQUE OU DE LA PRESSION DES FLUIDES
9
Mesure de la pression permanente, ou quasi permanente d'un fluide ou d'un matériau solide fluent par des éléments électriques ou magnétiques sensibles à la pression; Transmission ou indication par des moyens électriques ou magnétiques du déplacement des éléments mécaniques sensibles à la pression, utilisés pour mesurer la pression permanente ou quasi permanente d'un fluide ou d'un matériau solide fluent
02
en faisant usage des variations de la résistance ohmique, p.ex. de potentiomètre
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
L
MESURE DES FORCES, DES CONTRAINTES, DES COUPLES, DU TRAVAIL, DE LA PUISSANCE MÉCANIQUE, DU RENDEMENT MÉCANIQUE OU DE LA PRESSION DES FLUIDES
9
Mesure de la pression permanente, ou quasi permanente d'un fluide ou d'un matériau solide fluent par des éléments électriques ou magnétiques sensibles à la pression; Transmission ou indication par des moyens électriques ou magnétiques du déplacement des éléments mécaniques sensibles à la pression, utilisés pour mesurer la pression permanente ou quasi permanente d'un fluide ou d'un matériau solide fluent
02
en faisant usage des variations de la résistance ohmique, p.ex. de potentiomètre
04
de jauges de contrainte à résistance
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
L
MESURE DES FORCES, DES CONTRAINTES, DES COUPLES, DU TRAVAIL, DE LA PUISSANCE MÉCANIQUE, DU RENDEMENT MÉCANIQUE OU DE LA PRESSION DES FLUIDES
13
Dispositifs ou appareils pour la mesure des différences entre deux ou plusieurs valeurs de la pression des fluides
02
en utilisant des organes ou des pistons élastiquement déformables comme éléments sensibles
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
L
MESURE DES FORCES, DES CONTRAINTES, DES COUPLES, DU TRAVAIL, DE LA PUISSANCE MÉCANIQUE, DU RENDEMENT MÉCANIQUE OU DE LA PRESSION DES FLUIDES
15
Dispositifs ou appareils pour la mesure simultanée de deux ou plusieurs valeurs de la pression des fluides
Déposants :
ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Inventeurs :
MAUL, Robert; DE
HEUCK, Friedjof; DE
Données relatives à la priorité :
10 2017 213 354.602.08.2017DE
Titre (EN) MICROMECHANICAL PRESSSURE SENSOR DEVICE AND CORRESPONDING PRODUCTION METHOD
(FR) DISPOSITIF MICROMÉCANIQUE DE CAPTEUR DE PRESSION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION CORRESPONDANT
(DE) MIKROMECHANISCHE DRUCKSENSORVORRICHTUNG UND ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN
Abrégé :
(EN) The invention relates to a micromechanical pressure sensor device, and to a corresponding production method. The micromechanical pressure sensor device has a first membrane (3) and an adjoining first cavern (4); a deformation detecting unit (6) arranged in and/or on the first membrane (3) for detecting a deformation of the first membrane (3) due to an external pressure change applied thereto, and due to an internal mechanical deformation of the pressure sensor device; a second membrane (9) and an adjoining second cavern (5); and a second deformation detecting unit (11) arranged in and/or on the second membrane (9) for detecting a deformation of the second membrane (9) due to the internal mechanical deformation of the pressure sensor device, wherein the second membrane (9) is designed such that it cannot be deformed as a result of the external pressure change.
(FR) La présente invention concerne un dispositif micromécanique de capteur de pression et un procédé de fabrication correspondant. Le dispositif micromécanique de capteurs de pression est équipé de : une première membrane (3) et une première cavité (4) contigüe à celle-ci ; un premier système de détection de déformation (6) disposé dans et/ou sur la première membrane (3) pour détecter une déformation de la première membrane (3) en raison d’une variation externe de la pression appliquée à la première membrane et en raison d’une déformation mécanique interne du dispositif de capteur de pression ; une seconde membrane (9) et une seconde cavité (5) contigüe à celle-ci ; et un second système de détection de déformation (11) disposé dans et/ou sur la seconde membrane (9) pour détecter une déformation de la seconde membrane (9) en raison de la déformation mécanique interne du dispositif de capteur de pression, la seconde membrane (9) étant conçue de manière qu’elle n’est pas déformable en raison de la variation externe de pression.
(DE) Die Erfindung schafft eine mikromechanische Drucksensorvorrichtung und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die Mikromechanische Drucksensorvorrichtung ist ausgestattet mit einer ersten Membran (3) und einer daran angrenzenden ersten Kaverne (4); einer in und/oder auf der ersten Membran (3) angeordneten ersten Verbiegungserfassungseinrichtung (6) zum Erfassen einer Verbiegung der ersten Membran (3) aufgrund einer daran anliegenden externen Druckänderung und aufgrund einer internen mechanischen Verbiegung der Drucksensorvorrichtung; einer zweiten Membran (9) und einer daran angrenzenden zweiten Kaverne (5); und einer in und/oder auf der zweiten Membran (9) angeordneten zweiten Verbiegungserfassungseinrichtung (11) zum Erfassen einer Verbiegung der zweiten Membran (9) aufgrund der internen mechanischen Verbiegung der Drucksensorvorrichtung; wobei die zweite Membran (9) derart gestaltet ist, dass sie aufgrund der externen Druckänderung nicht verbiegbar ist.
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Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)