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1. (WO2019025082) REVÊTEMENT DOUBLE FACE SIMULTANÉ DE PELLICULE DE GRAPHÈNE MULTICOUCHE PAR TRAITEMENT THERMIQUE LOCAL
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N° de publication : WO/2019/025082 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/067052
Date de publication : 07.02.2019 Date de dépôt international : 26.06.2018
CIB :
G03F 1/62 (2012.01) ,G03F 1/24 (2012.01) ,G03F 7/20 (2006.01) ,G02B 27/00 (2006.01)
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
1
Originaux pour la production par voie photomécanique de surfaces texturées, p.ex. masques, photomasques ou réticules; Masques vierges ou pellicules à cet effet; Réceptacles spécialement adaptés à ces originaux; Leur préparation
62
Pellicules, p.ex. assemblage de pellicules ayant une membrane sur un cadre de support; Leur préparation
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
1
Originaux pour la production par voie photomécanique de surfaces texturées, p.ex. masques, photomasques ou réticules; Masques vierges ou pellicules à cet effet; Réceptacles spécialement adaptés à ces originaux; Leur préparation
22
Masques ou masques vierges d'imagerie par rayonnement d'une longueur d'onde de 100 nm ou moins, p.ex. masques pour rayons X, masques en extrême ultra violet [EUV]; Leur préparation
24
Masques en réflexion; Leur préparation
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20
Exposition; Appareillages à cet effet
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
27
Autres systèmes optiques; Autres appareils optiques
Déposants :
ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventeurs :
KURGANOVA, Evgenia; NL
GIESBERS, Adrianus, Johannes, Maria; NL
NASALEVICH, Maxim, Aleksandrovich; NL
NOTENBOOM, Arnoud, Willem; NL
PÉTER, Mária; NL
VAN ZWOL, Pieter-Jan; NL
VLES, David, Ferdinand; NL
VOORTHUIJZEN, Willem-Pieter; NL
Mandataire :
FILIP, Diana; NL
Données relatives à la priorité :
17184701.503.08.2017EP
Titre (EN) SIMULTANEOUS DOUBLE-SIDE COATING OF MULTILAYER GRAPHENE PELLICLE BY LOCAL THERMAL PROCESSING
(FR) REVÊTEMENT DOUBLE FACE SIMULTANÉ DE PELLICULE DE GRAPHÈNE MULTICOUCHE PAR TRAITEMENT THERMIQUE LOCAL
Abrégé :
(EN) A method of manufacturing a pellicle for a lithographic apparatus, said method comprising: locally heating the pellicle (4) using radiative heating (3), and depositing coating material simultaneously on both sides of the pellicle. Also disclosed are pellicles manufactured according to this method. Further disclosed is the use of a multilayer graphene pellicle with double-sided hexagonal boron nitride coating in a lithographic apparatus.
(FR) L'invention concerne un procédé de fabrication d'une pellicule pour un appareil lithographique, ledit procédé comprenant : le chauffage local de la pellicule (4) à l'aide d'un chauffage par rayonnement (3) et le dépôt simultané d'un matériau de revêtement sur les deux côtés de la pellicule. L'invention concerne également des pellicules fabriquées selon ce procédé. L'invention concerne en outre l'utilisation d'une pellicule de graphène multicouche avec un revêtement double face de nitrure de bore hexagonal dans un appareil lithographique.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)