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1. (WO2019009403) DISPOSITIF OPTIQUE
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N° de publication : WO/2019/009403 N° de la demande internationale : PCT/JP2018/025646
Date de publication : 10.01.2019 Date de dépôt international : 06.07.2018
CIB :
G02B 26/00 (2006.01) ,B81B 3/00 (2006.01) ,G01B 9/02 (2006.01) ,G01J 3/45 (2006.01) ,G02B 7/198 (2006.01)
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
26
Dispositifs ou systèmes optiques utilisant des éléments optiques mobiles ou déformables pour commander l'intensité, la couleur, la phase, la polarisation ou la direction de la lumière, p.ex. commutation, ouverture de porte, modulation
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81
TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
B
DISPOSITIFS OU SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE, p.ex. DISPOSITIFS MICROMÉCANIQUES
3
Dispositifs comportant des éléments flexibles ou déformables, p.ex. comportant des membranes ou des lamelles élastiques
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
9
Instruments tels que spécifiés dans les sous-groupes et caractérisés par l'utilisation de moyens de mesure optiques
02
Interféromètres
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
J
MESURE DE L'INTENSITÉ, DE LA VITESSE, DU SPECTRE, DE LA POLARISATION, DE LA PHASE OU DES CARACTÉRISTIQUES D'IMPULSIONS DE LUMIÈRE INFRAROUGE, VISIBLE OU ULTRAVIOLETTE; COLORIMÉTRIE; PYROMÉTRIE DES RADIATIONS
3
Spectrométrie; Spectrophotométrie; Monochromateurs; Mesure de la couleur
28
Etude du spectre
45
Spectrométrie par interférence
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
7
Montures, moyens de réglage ou raccords étanches à la lumière pour éléments optiques
18
pour prismes; pour miroirs
182
pour miroirs
198
avec des moyens pour régler la position du miroir par rapport à son support
Déposants :
浜松ホトニクス株式会社 HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP/JP]; 静岡県浜松市東区市野町1126番地の1 1126-1, Ichino-cho, Higashi-ku, Hamamatsu-shi, Shizuoka 4358558, JP
Inventeurs :
鈴木 智史 SUZUKI Tomofumi; JP
港谷 恭輔 KOTANI Kyosuke; JP
杉本 達哉 SUGIMOTO Tatsuya; JP
蔵本 豊 KURAMOTO Yutaka; JP
柴山 勝己 SHIBAYAMA Katsumi; JP
細川 暢郎 HOSOKAWA Noburo; JP
Mandataire :
長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki; JP
黒木 義樹 KUROKI Yoshiki; JP
柴山 健一 SHIBAYAMA Kenichi; JP
Données relatives à la priorité :
2017-13308906.07.2017JP
Titre (EN) OPTICAL DEVICE
(FR) DISPOSITIF OPTIQUE
(JA) 光学デバイス
Abrégé :
(EN) In this optical device, a base and a movable part are formed from a semiconductor substrate having, provided in order from one side in a prescribed direction, a first semiconductor layer, an insulating layer, and a second semiconductor layer. The base is formed from the first semiconductor layer, the insulating layer, and the second semiconductor layer. The moveable part is provided with a placement part formed from the second semiconductor layer. An optical functional part is placed on the surface of the placement part at the one side. The first semiconductor layer which forms the base is thicker than the second semiconductor layer which forms the base. The surface of the base at the one side is positioned further towards the one side than the optical functional part.
(FR) Dans le dispositif optique selon la présente invention, une base et une partie mobile sont formées à partir d’un substrat semi-conducteur comportant, disposés dans l’ordre depuis un côté dans une direction prescrite, une première couche de semi-conducteur, une couche isolante et une deuxième couche de semi-conducteur. La base est formée de la première couche de semi-conducteur, la couche isolante et la deuxième couche de semi-conducteur. La partie mobile est pourvue d’une partie de placement formée de la deuxième couche de semi-conducteur. Une partie fonctionnelle optique est placée sur la surface de la partie de placement sur le premier côté. La première couche de semi-conducteur qui forme la base est plus épaisse que la deuxième couche de semi-conducteur qui forme la base. La surface de la base sur le premier côté est positionnée plus avant vers le premier côté que la partie fonctionnelle optique.
(JA) 光学デバイスでは、ベース及び可動部は、第1半導体層、絶縁層及び第2半導体層を所定方向における一方の側からこの順に有する半導体基板によって構成されている。ベースは、第1半導体層、絶縁層及び第2半導体層によって構成されている。可動部は、第2半導体層によって構成された配置部を有している。光学機能部は、配置部における一方の側の表面上に配置されている。ベースを構成する第1半導体層は、ベースを構成する第2半導体層よりも厚い。ベースにおける一方の側の表面は、光学機能部よりも一方の側に位置している。
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Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)