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1. (WO2019009065) RÉCIPIENT DE STOCKAGE DE SUBSTRAT
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N° de publication : WO/2019/009065 N° de la demande internationale : PCT/JP2018/023311
Date de publication : 10.01.2019 Date de dépôt international : 19.06.2018
CIB :
H01L 21/673 (2006.01) ,B65D 43/02 (2006.01) ,B65D 53/02 (2006.01) ,B65D 85/86 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
673
utilisant des supports spécialement adaptés
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
65
MANUTENTION; EMBALLAGE; EMMAGASINAGE; MANIPULATION DES MATÉRIAUX DE FORME PLATE OU FILIFORME
D
RÉCEPTACLES POUR L'EMMAGASINAGE OU LE TRANSPORT D'OBJETS OU DE MATÉRIAUX, p.ex. SACS, TONNEAUX, BOUTEILLES, BOÎTES, BIDONS, CAISSES, BOCAUX, RÉSERVOIRS, TRÉMIES OU CONTENEURS D'EXPÉDITION; ACCESSOIRES OU FERMETURES POUR CES RÉCEPTACLES; ÉLÉMENTS D'EMBALLAGE; PAQUETS
43
Couvercles ou chapeaux pour les réceptacles rigides ou semi-rigides
02
Couvercles ou chapeaux amovibles
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
65
MANUTENTION; EMBALLAGE; EMMAGASINAGE; MANIPULATION DES MATÉRIAUX DE FORME PLATE OU FILIFORME
D
RÉCEPTACLES POUR L'EMMAGASINAGE OU LE TRANSPORT D'OBJETS OU DE MATÉRIAUX, p.ex. SACS, TONNEAUX, BOUTEILLES, BOÎTES, BIDONS, CAISSES, BOCAUX, RÉSERVOIRS, TRÉMIES OU CONTENEURS D'EXPÉDITION; ACCESSOIRES OU FERMETURES POUR CES RÉCEPTACLES; ÉLÉMENTS D'EMBALLAGE; PAQUETS
53
Éléments d'étanchéité ou d'emballage; Étanchéité réalisée par matériaux liquides ou plastiques
02
Colliers ou bagues
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
65
MANUTENTION; EMBALLAGE; EMMAGASINAGE; MANIPULATION DES MATÉRIAUX DE FORME PLATE OU FILIFORME
D
RÉCEPTACLES POUR L'EMMAGASINAGE OU LE TRANSPORT D'OBJETS OU DE MATÉRIAUX, p.ex. SACS, TONNEAUX, BOUTEILLES, BOÎTES, BIDONS, CAISSES, BOCAUX, RÉSERVOIRS, TRÉMIES OU CONTENEURS D'EXPÉDITION; ACCESSOIRES OU FERMETURES POUR CES RÉCEPTACLES; ÉLÉMENTS D'EMBALLAGE; PAQUETS
85
Réceptacles, éléments d'emballage ou paquets spécialement adaptés aux objets ou aux matériaux particuliers
86
pour des éléments électriques
Déposants :
信越ポリマー株式会社 SHIN-ETSU POLYMER CO.,LTD. [JP/JP]; 東京都千代田区神田須田町一丁目9番地 9, Kandasuda-cho 1chome, Chiyoda-ku Tokyo 1010041, JP
Inventeurs :
小川 統 OGAWA Osamu; JP
Mandataire :
坂本 智弘 SAKAMOTO Tomohiro; JP
Données relatives à la priorité :
2017-13370807.07.2017JP
Titre (EN) SUBSTRATE STORAGE CONTAINER
(FR) RÉCIPIENT DE STOCKAGE DE SUBSTRAT
(JA) 基板収納容器
Abrégé :
(EN) The present invention provides a substrate storage container (1) provided with: a container body (10) in which a substrate (W) is stored; a lid member (20) which closes an opening (11) of the container body (10); a lock mechanism with which the lid member (20) is fitted and which is locked on a portion to be locked of the container body (10); and a packing (P) interposed between the container body (10) and the lid member (20). The packing (P) includes a first packing (30) attached to the container body (10), and a second packing (40) attached to the lid member (20). The first packing (30) and the second packing (40), when viewed from a direction orthogonal to a closing direction (H) of the lid member (20), is positioned on the inside of the container body (10) with respect to the position of the portion to be locked. In this way, it is possible to improve sealing property with respect to internal negative pressure and positive pressure, and to provide a substrate storage container with improved internal cleanliness.
(FR) La présente invention concerne un récipient de stockage de substrat (1) comprenant : un corps de récipient (10) dans lequel un substrat (W) est stocké; un élément de couvercle (20) qui renferme une ouverture (11) du corps de récipient (10); un mécanisme de verrouillage avec lequel l'élément de couvercle (20) est ajusté et qui est verrouillé sur une partie à verrouiller du corps de récipient (10); et une garniture (P) interposée entre le corps de récipient (10) et l'élément de couvercle (20). La garniture (P) comprend une première garniture (30) fixée au corps de récipient (10), et une seconde garniture (40) fixée à l'élément de couvercle (20). La première garniture (30) et la seconde garniture (40), lorsqu'elles sont vues depuis une direction orthogonale à une direction de fermeture (H) de l'élément de couvercle (20), sont positionnées sur l'intérieur du corps de récipient (10) par rapport à la position de la partie à verrouiller. De cette manière, il est possible d'améliorer la propriété d'étanchéité vis-à-vis de la pression négative interne et de la pression positive, et de fournir un récipient de stockage de substrat ayant une propreté interne améliorée.
(JA) 本発明は、基板(W)を収納する容器本体(10)と、容器本体(10)の開口(11)を閉止する蓋体(20)と、蓋体(20)に設けられ、容器本体(10)の被係止部に係止される施錠機構と、容器本体(10)及び蓋体(20)との間に介在されるパッキン(P)と、を備える基板収納容器(1)であって、パッキン(P)は、容器本体(10)に取り付けられる第1パッキン(30)と、蓋体(20)に取り付けられる第2パッキン(40)と、を含み、第1パッキン(30)及び第2パッキン(40)は、蓋体(20)の閉止方向(H)に直交する方向から見たとき、被係止部の位置よりも、容器本体(10)の内側に位置するものである。これにより、内部の陰圧及び陽圧に対するシール性を向上させるとともに、内部の清浄性を向上させる基板収納容器を提供することができる。
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)