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1. (WO2019006225) ÉTALONNAGE DE LENTILLE D'OBJECTIF DE MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE
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N° de publication : WO/2019/006225 N° de la demande internationale : PCT/US2018/040166
Date de publication : 03.01.2019 Date de dépôt international : 29.06.2018
CIB :
G02B 21/02 (2006.01) ,G02B 27/64 (2006.01) ,G02B 27/62 (2006.01)
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
21
Microscopes
02
Objectifs
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
27
Autres systèmes optiques; Autres appareils optiques
64
Systèmes pour donner des images utilisant des éléments optiques pour la stabilisation latérale et angulaire de l'image
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
27
Autres systèmes optiques; Autres appareils optiques
62
Appareils optiques spécialement adaptés pour régler des éléments optiques pendant l'assemblage de systèmes optiques
Déposants :
KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035, US
Inventeurs :
HONJO, Ichiro; US
SEARS, Christopher; US
YANG, Hedong; US
HA, Thanh; US
WANG, Jianwei; US
XU, Huina; US
Mandataire :
MCANDREWS, Kevin; US
MORRIS, Elizabeth M.N; US
Données relatives à la priorité :
15/672,79709.08.2017US
62/526,80429.06.2017US
Titre (EN) SCANNING ELECTRON MICROSCOPE OBJECTIVE LENS CALIBRATION
(FR) ÉTALONNAGE DE LENTILLE D'OBJECTIF DE MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE
Abrégé :
(EN) Objective lens alignment of a scanning electron microscope review tool with fewer image acquisitions can be obtained using the disclosed techniques and systems. Two different X-Y voltage pairs for the scanning electron microscope can be determined based on images. A second image based on the first X-Y voltage pair can be used to determine a second X-Y voltage pair. The X-Y voltage pairs can be applied at the Q4 lens or other optical components of the scanning electron microscope.
(FR) Selon l'invention, un alignement de lentilles d'objectif d'un outil d'examen à microscope électronique à balayage avec moins d'acquisitions d'image peut être obtenu à l'aide des techniques et des systèmes décrits. Deux paires de tensions X-Y différentes pour le microscope électronique à balayage peuvent être déterminées sur la base d'images. Une seconde image basée sur la première paire de tensions X-Y peut être utilisée pour déterminer une seconde paire de tensions X-Y. Les paires de tensions X-Y peuvent être appliquées au niveau de la lentille Q4 ou d'autres composants optiques du microscope électronique à balayage.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)