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1. (WO2019006221) GÉNÉRATION D’IMAGES À HAUTE RÉSOLUTION À PARTIR D’IMAGES À BASSE RÉSOLUTION POUR DES APPLICATIONS À SEMI-CONDUCTEURS
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N° de publication : WO/2019/006221 N° de la demande internationale : PCT/US2018/040160
Date de publication : 03.01.2019 Date de dépôt international : 29.06.2018
CIB :
G03F 7/20 (2006.01) ,H01L 21/66 (2006.01)
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20
Exposition; Appareillages à cet effet
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
66
Essai ou mesure durant la fabrication ou le traitement
Déposants :
KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035, US
Inventeurs :
SHARMA, Saurabh; IN
DANDIANA, Amitoz S.; IN
MAHADEVAN, Mohan; US
FANG, Chao; US
AZORDEGAN, Amir; US
DUFFY, Brian; US
Mandataire :
MCANDREWS, Kevin; US
MORRIS, Elizabeth M.N; US
Données relatives à la priorité :
16/019,42226.06.2018US
20174102306330.06.2017IN
62/545,90615.08.2017US
Titre (EN) GENERATING HIGH RESOLUTION IMAGES FROM LOW RESOLUTION IMAGES FOR SEMICONDUCTOR APPLICATIONS
(FR) GÉNÉRATION D’IMAGES À HAUTE RÉSOLUTION À PARTIR D’IMAGES À BASSE RÉSOLUTION POUR DES APPLICATIONS À SEMI-CONDUCTEURS
Abrégé :
(EN) Methods and systems for generating a high resolution image for a specimen from a low resolution image of the specimen are provided. One system includes one or more computer subsystems configured for acquiring a low resolution image of a specimen. The system also includes one or more components executed by the one or more computer subsystems. The one or more components include a deep convolutional neural network that includes one or more first layers configured for generating a representation of the low resolution image. The deep convolutional neural network also includes one or more second layers configured for generating a high resolution image of the specimen from the representation of the low resolution image. The second layer(s) include a final layer configured to output the high resolution image and configured as a sub-pixel convolutional layer.
(FR) L’invention concerne des procédés et des systèmes pour générer une image à haute résolution pour un spécimen à partir d’une image à basse résolution du spécimen. Un système comprend un ou plusieurs sous-systèmes informatiques configurés pour acquérir une image à basse résolution d’un spécimen. Le système comprend également un ou plusieurs composants exécutés par le ou les sous-systèmes informatiques. Le ou les composants comprennent un réseau neuronal convolutif profond qui comprend une ou plusieurs premières couches configurées pour générer une représentation de l'image à basse résolution. Le réseau neuronal convolutif profond comprend également une ou plusieurs secondes couches configurées pour générer une image à haute résolution du spécimen à partir de la représentation de l'image à basse résolution. La ou les seconde(s) couche(s) comprennent une couche finale configurée pour émettre l'image à haute résolution configurée sous forme d'une couche convolutive à sous-pixels.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)