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1. (WO2019001877) PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION D'UN PARAMÈTRE DE PERFORMANCE D'UN PROCESSUS
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N° de publication : WO/2019/001877 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/064027
Date de publication : 03.01.2019 Date de dépôt international : 29.05.2018
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
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Exposition; Appareillages à cet effet
Déposants :
ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventeurs :
SANGUINETTI, Gonzalo, Roberto; NL
BOZKURT, Murat; NL
VAN DER SCHAAR, Maurits; NL
DEN BOEF, Arie, Jeffrey; NL
Mandataire :
BROEKEN, Petrus; NL
Données relatives à la priorité :
17177953.126.06.2017EP
Titre (EN) METHOD OF DETERMINING A PERFORMANCE PARAMETER OF A PROCESS
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION D'UN PARAMÈTRE DE PERFORMANCE D'UN PROCESSUS
Abrégé :
(EN) Overlay error of a lithographic process is measured using a plurality of target structures, each target structure having a known overlay bias. A detection system captures a plurality of images (740) representing selected portions of radiation diffracted by the target structures under a plurality of different capture conditions (λ1, λ2). Pixel values of the captured images are combined (748) to obtain one or more synthesized images (750). A plurality of synthesized diffraction signals are extracted (744) from the synthesized image or images, and used to calculate a measurement of overlay. The computational burden is reduced compared with extracting diffraction signals from the captured images individually. The captured images may be dark-field images or pupil images, obtained using a scatterometer.
(FR) Selon la présente invention, une erreur de superposition d'un processus lithographique est mesurée à l'aide d'une pluralité de structures cibles, chaque structure cible ayant une polarisation de superposition connue. Un système de détection capture une pluralité d'images (740) représentant des parties sélectionnées de rayonnement diffracté par les structures cibles dans une pluralité de différentes conditions de capture (λ1, λ2). Des valeurs de pixel des images capturées sont combinées (748) pour obtenir une ou plusieurs images synthétisées (750). Une pluralité de signaux de diffraction synthétisés sont extraits (744) de l'image ou des images synthétisées, et utilisés pour calculer une mesure de superposition. La charge de calcul est réduite par rapport à l'extraction de signaux de diffraction des images capturées individuellement. Les images capturées peuvent être des images de fond noir ou des images de pupille, obtenues à l'aide d'un diffusiomètre.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)