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1. (WO2018234233) RÉSISTANCE À COUCHE ET CAPTEUR À COUCHE MINCE
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N° de publication : WO/2018/234233 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/066099
Date de publication : 27.12.2018 Date de dépôt international : 18.06.2018
CIB :
G01L 9/06 (2006.01) ,G01L 1/18 (2006.01) ,H01C 17/065 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
L
MESURE DES FORCES, DES CONTRAINTES, DES COUPLES, DU TRAVAIL, DE LA PUISSANCE MÉCANIQUE, DU RENDEMENT MÉCANIQUE OU DE LA PRESSION DES FLUIDES
9
Mesure de la pression permanente, ou quasi permanente d'un fluide ou d'un matériau solide fluent par des éléments électriques ou magnétiques sensibles à la pression; Transmission ou indication par des moyens électriques ou magnétiques du déplacement des éléments mécaniques sensibles à la pression, utilisés pour mesurer la pression permanente ou quasi permanente d'un fluide ou d'un matériau solide fluent
02
en faisant usage des variations de la résistance ohmique, p.ex. de potentiomètre
06
de dispositifs piézo-résistants
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
L
MESURE DES FORCES, DES CONTRAINTES, DES COUPLES, DU TRAVAIL, DE LA PUISSANCE MÉCANIQUE, DU RENDEMENT MÉCANIQUE OU DE LA PRESSION DES FLUIDES
1
Mesure des forces ou des contraintes, en général
18
en utilisant des propriétés des matériaux piézo-résistants, c. à d. des matériaux dont la résistance ohmique varie suivant les modifications de la grandeur ou de la direction de la force appliquée au matériau
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
C
RÉSISTANCES
17
Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication de résistances
06
adaptés pour déposer en couche le matériau résistif sur un élément de base
065
par des techniques de film épais, p.ex. sérigraphie
Déposants :
TDK ELECTRONICS AG [DE/DE]; Rosenheimer Str. 141 e 81671 München, DE
Inventeurs :
MILKE, Bettina; DE
OSTRICK, Bernhard; DE
Mandataire :
EPPING HERMANN FISCHER PATENTANWALTSGESELLSCHAFT MBH; Schloßschmidstr. 5 80639 München, DE
Données relatives à la priorité :
10 2017 113 401.819.06.2017DE
Titre (EN) FILM RESISTOR AND THIN-FILM SENSOR
(FR) RÉSISTANCE À COUCHE ET CAPTEUR À COUCHE MINCE
(DE) SCHICHTWIDERSTAND UND DÜNNFILMSENSOR
Abrégé :
(EN) The invention relates to a film resistor comprising a piezoresistive layer, the piezoresistive layer containing a first transition metal carbide. Further disclosed is a thin-film sensor comprising the film resistor.
(FR) L'invention concerne une résistance à couche qui présente une couche piézorésistive, ladite couche piézorésistive contenant un premier carbure de métal de transition. L'invention concerne en outre un capteur à couche mince comportant ladite résistance à couche.
(DE) Es wird ein Schichtwiderstand angegeben, der eine piezioresistive Schicht aufweist, wobei die piezoresistive Schicht ein erstes Übergangsmetallcarbid enthält. Weiterhin wird ein Dünnfilmsensor aufweisend den Schichtwiderstand angegeben.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)