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1. (WO2018228017) INTERFÉROMÈTRE DE VITESSE À SENSIBILITÉ MULTIPLE POUR N'IMPORTE QUEL RÉFLECTEUR À CIBLE DE BRANCHE COHÉRENTE
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N° de publication : WO/2018/228017 N° de la demande internationale : PCT/CN2018/080183
Date de publication : 20.12.2018 Date de dépôt international : 23.03.2018
CIB :
G01J 11/00 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
J
MESURE DE L'INTENSITÉ, DE LA VITESSE, DU SPECTRE, DE LA POLARISATION, DE LA PHASE OU DES CARACTÉRISTIQUES D'IMPULSIONS DE LUMIÈRE INFRAROUGE, VISIBLE OU ULTRAVIOLETTE; COLORIMÉTRIE; PYROMÉTRIE DES RADIATIONS
11
Mesure des caractéristiques d'impulsions lumineuses individuelles ou de trains d'impulsions lumineuses
Déposants :
中国科学院西安光学精密机械研究所 XI' AN INSTITUTE OF OPTICS AND PRECISION MECHANICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES [CN/CN]; 中国陕西省西安市 高新区新型工业园信息大道17号 No. 17 Xinxi Road, New Industrial Park, Xi'an Hi-Tech Industrial Development Zone Xi'an, Shaanxi 710119, CN
Inventeurs :
闫亚东 YAN, Yadong; CN
何俊华 HE, Junhua; CN
王峰 WANG, Feng; CN
许瑞华 XU, Ruihua; CN
齐文博 QI, Wenbo; CN
王维 WANG, Wei; CN
Mandataire :
西安智邦专利商标代理有限公司 XI'AN ZHIBANG PATENT & TRADEMARK AGENT CO., LTD.; 中国陕西省西安市 高新区丈八四路20号神州数码西安科技园5号楼19层 Floor 19, No.5 Building Digital Xi'an Science Park, Shenzhou, No.20 Zhangbasi Road, High-tech District Xi'an, Shaanxi 710077, CN
Données relatives à la priorité :
201710437902.512.06.2017CN
Titre (EN) MULTI-SENSITIVITY VELOCITY INTERFEROMETER FOR ANY REFLECTOR WITH CONSISTENT BRANCH TARGET
(FR) INTERFÉROMÈTRE DE VITESSE À SENSIBILITÉ MULTIPLE POUR N'IMPORTE QUEL RÉFLECTEUR À CIBLE DE BRANCHE COHÉRENTE
(ZH) 分支目标一致的多灵敏度任意反射表面速度干涉仪
Abrégé :
(EN) A multi-sensitivity velocity interferometer for any reflector with a consistent branch target, comprising an illumination light source (1), an illumination beam splitter (3), an imaging lens (4), an intermediate image plane (6), and a signal beam splitter (7). Laser light emitted from the illumination light source (1) is reflected by the illumination beam splitter (3) and is then focused on a target surface (5) by means of the imaging lens (4); Doppler signal light reflected by the target surface (5) is converged at the intermediate image plane (6) by means of the imaging lens (4), and is then split into beams by the signal beam splitter (7) to enter a plurality of measurement branches; each measurement branch comprises a collimating mirror (8), an interferometer (9), a converging mirror (11), and a streak camera (12) which are arranged along a light path propagation direction; the streak camera (12) is a streak camera without slit, and the intermediate image plane (6) is provided with a slit. By providing a common slit, a plurality of streak cameras is able to achieve an absolutely consistent target to be measured. During multi-sensitivity measurement and simultaneous solution, an overlay solution can be determined more accurately, and a calculation mistake caused by a targeting error during multi-sensitivity measurement is avoided.
(FR) La présente invention concerne un interféromètre de vitesse à sensibilité multiple pour n'importe quel réflecteur à cible de branche cohérente, comprenant une source de lumière d'éclairage (1), un diviseur de faisceau d'éclairage (3), une lentille d'imagerie (4), un plan d'image intermédiaire (6) et un diviseur de faisceau de signal (7). La lumière laser émise par la source de lumière d'éclairage (1) est réfléchie par le diviseur de faisceau d'éclairage (3) et est ensuite focalisée sur une surface cible (5) au moyen de la lentille d'imagerie (4); la lumière de signal Doppler réfléchie par la surface cible (5) converge sur le plan d'image intermédiaire (6) grâce à la lentille d'imagerie (4), et est ensuite divisée en faisceaux par le diviseur de faisceau de signal (7) pour entrer dans une pluralité de branches de mesure; chaque branche de mesure comprend un miroir de collimation (8), un interféromètre (9), un miroir de convergence (11) et une caméra à balayage (12) qui sont agencées le long d'une direction de propagation de trajet de lumière; la caméra à balayage (12) est une caméra à balayage sans fente, et le plan d'image intermédiaire (6) est pourvu d'une fente. Grâce à la fourniture d'une fente commune, plusieurs caméras à balayage permettent d'obtenir une cible absolument cohérente à mesurer. Lors d'une mesure à sensibilité multiple et d'une solution simultanée, une solution de recouvrement peut être déterminée plus précisément, et une erreur de calcul due à une erreur de ciblage pendant une mesure à sensibilité multiple est évitée.
(ZH) 一种分支目标一致的多灵敏度任意反射表面速度干涉仪,包括照明光源(1)、照明分束镜(3)、成像镜头(4)、中间像面(6)和信号分束镜(7),照明光源(1)发出的激光经照明分束镜(3)反射后再经过成像镜头(4)聚焦于靶面(5),由靶面(5)反射的多普勒信号光经成像镜头(4)会聚于中间像面(6),然后经信号分束镜(7)分束后进入多个测量分支,测量分支包括沿光路传播方向设置的准直镜(8)、干涉仪(9)、会聚镜(11)和条纹相机(12);条纹相机(12)是不带狭缝的条纹相机,中间像面(6)上设置有狭缝。通过设置共用狭缝可以实现多台条纹相机具有绝对一致的待测目标,在多灵敏度测量并联立求解时,能够更精确地确立重叠解,避免了多灵敏度测量因目标瞄准误差导致的计算错误。
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)