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1. (WO2018227031) SYSTÈME D'INSPECTION DE TRANCHE COMPRENANT UN CAPTEUR DE TRIANGULATION LASER
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N° de publication : WO/2018/227031 N° de la demande internationale : PCT/US2018/036573
Date de publication : 13.12.2018 Date de dépôt international : 08.06.2018
CIB :
H01L 21/66 (2006.01) ,G02B 21/02 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
66
Essai ou mesure durant la fabrication ou le traitement
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
21
Microscopes
02
Objectifs
Déposants :
RUDOLPH TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 16 Jonspin Road Wilmington, Massachusetts 01887, US
Inventeurs :
SCHAEFER, John; US
VOGES, Christopher; US
SMITH, Nicolas; US
TREPTAU, Jeff; US
Mandataire :
PETERSON, Mark A.; US
CZAJA, Timothy A.; US
LUND, Scott; US
Données relatives à la priorité :
62/516,70108.06.2017US
Titre (EN) WAFER INSPECTION SYSTEM INCLUDING A LASER TRIANGULATION SENSOR
(FR) SYSTÈME D'INSPECTION DE TRANCHE COMPRENANT UN CAPTEUR DE TRIANGULATION LASER
Abrégé :
(EN) One example of an inspection system includes a laser, a magnification changer, and a first camera. The laser projects a line onto a wafer to be inspected. The magnification changer includes a plurality of selectable lenses of different magnification. The first camera images the line projected onto the wafer and outputs three-dimensional line data indicating the height of features of the wafer. Each lens of the magnification changer provides the same nominal focal plane position of the first camera with respect to the wafer.
(FR) L'invention concerne un exemple d'un système d'inspection comprenant un laser, un changeur de grossissement et une première caméra. Le laser projette une ligne sur une tranche à inspecter. Le changeur de grossissement comprend une pluralité de lentilles sélectionnables de grossissement différent. La première caméra image la ligne projetée sur la tranche et délivre des données de ligne tridimensionnelle indiquant la hauteur des caractéristiques de la tranche. Chaque lentille du changeur de grossissement fournit la même position de plan focal nominale de la première caméra par rapport à la tranche.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)