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1. (WO2018225460) DISPOSITIF D'INSPECTION ET PROCÉDÉ D'INSPECTION
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N° de publication : WO/2018/225460 N° de la demande internationale : PCT/JP2018/018597
Date de publication : 13.12.2018 Date de dépôt international : 14.05.2018
CIB :
G01N 21/88 (2006.01) ,G06T 1/00 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
N
RECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21
Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
84
Systèmes spécialement adaptés à des applications particulières
88
Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures
G PHYSIQUE
06
CALCUL; COMPTAGE
T
TRAITEMENT OU GÉNÉRATION DE DONNÉES D'IMAGE, EN GÉNÉRAL
1
Traitement de données d'image, d'application générale
Déposants :
株式会社SCREENホールディングス SCREEN HOLDINGS CO., LTD. [JP/JP]; 京都府京都市上京区堀川通寺之内上る4丁目天神北町1番地の1 Tenjinkita-machi 1-1, Teranouchi-agaru 4-chome, Horikawa-dori, Kamigyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6028585, JP
Inventeurs :
大西 浩之 ONISHI, Hiroyuki; JP
Mandataire :
松阪 正弘 MATSUSAKA, Masahiro; JP
田中 勉 TANAKA, Tsutomu; JP
井田 正道 IDA, Masamichi; JP
Données relatives à la priorité :
2017-11090405.06.2017JP
Titre (EN) INSPECTING DEVICE AND INSPECTING METHOD
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION ET PROCÉDÉ D'INSPECTION
(JA) 検査装置および検査方法
Abrégé :
(EN) A high-frequency component removing unit (54) removes a high-frequency component from a first target image, obtained by capturing an image of a target object, and a first reference image, to acquire a second target image and a second reference image respectively. A correcting unit (56) corrects a value of a pixel corresponding to at least one of the first target image and the first reference image on the basis of a discrepancy, which is the ratio or the difference between the value of each pixel in the second target image and the value of the corresponding pixel in the second reference image. A comparing unit (55) detects a defective region in the first target image by comparing the first target image and the first reference image. By this means, defects can be detected accurately without modifying the first reference image even if the surface condition of the target object changes.
(FR) Une unité d'élimination de composant haute fréquence (54) retire une composante haute fréquence d'une première image cible, obtenue par capture d'une image d'un objet cible, et d'une première image de référence, pour acquérir respectivement une seconde image cible et une seconde image de référence. Une unité de correction (56) corrige une valeur d'un pixel correspondant à au moins la première image cible et à la première image de référence sur la base d'une divergence, qui est le rapport ou la différence entre la valeur de chaque pixel dans la seconde image cible et la valeur du pixel correspondant dans la seconde image de référence. Une unité de comparaison (55) détecte une région défectueuse dans la première image cible en comparant la première image cible et de la première image de référence. Par ce moyen, des défauts peuvent être détectés avec précision sans modifier la première image de référence même si la condition de surface de l'objet cible change.
(JA) 高周波成分除去部(54)は、対象物を撮像して得られた第1対象画像と、第1参照画像とに対して高周波成分を除去して第2対象画像および第2参照画像をそれぞれ取得する。補正部(56)は、第2対象画像の各画素の値と、第2参照画像の対応する画素の値との比または差である相違に基づいて第1対象画像および第1参照画像の少なくとも一方の対応する画素の値を補正する。比較部(55)は、第1対象画像と第1参照画像とを比較することにより、第1対象画像中の欠陥領域を検出する。これにより、対象物の表面状態が変化しても第1参照画像を変更することなく欠陥を精度よく検出することができる。
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)