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1. (WO2018224278) ENSEMBLE CAPTEUR DE PRESSION MICROMÉCANIQUE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN ENSEMBLE CAPTEUR DE PRESSION MICROMÉCANIQUE
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N° de publication : WO/2018/224278 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/062880
Date de publication : 13.12.2018 Date de dépôt international : 17.05.2018
CIB :
G01L 19/06 (2006.01) ,G01L 19/14 (2006.01) ,H01L 23/00 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
L
MESURE DES FORCES, DES CONTRAINTES, DES COUPLES, DU TRAVAIL, DE LA PUISSANCE MÉCANIQUE, DU RENDEMENT MÉCANIQUE OU DE LA PRESSION DES FLUIDES
19
Détails ou accessoires des appareils pour la mesure de la pression permanente ou quasi permanente d'un milieu fluent dans la mesure où ces détails ou accessoires ne sont pas particuliers à des types particuliers de manomètres
06
Moyens pour empêcher la surcharge ou l'influence délétère du milieu à mesurer sur le dispositif de mesure ou vice versa
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
L
MESURE DES FORCES, DES CONTRAINTES, DES COUPLES, DU TRAVAIL, DE LA PUISSANCE MÉCANIQUE, DU RENDEMENT MÉCANIQUE OU DE LA PRESSION DES FLUIDES
19
Détails ou accessoires des appareils pour la mesure de la pression permanente ou quasi permanente d'un milieu fluent dans la mesure où ces détails ou accessoires ne sont pas particuliers à des types particuliers de manomètres
14
Boîtiers
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
23
Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
Déposants :
ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Inventeurs :
KNAUSS, Michael; DE
KUELLS, Robert; DE
SCHILLER, Uwe; DE
SODAN, Lars; DE
SCHULER-WATKINS, Sebastian; DE
HAUG, Daniel; DE
Données relatives à la priorité :
10 2017 209 650.008.06.2017DE
Titre (EN) MICROMECHANICAL PRESSURE SENSOR ASSEMBLY AND METHOD FOR PRODUCING A MICROMECHANICAL PRESSURE SENSOR ASSEMBLY
(FR) ENSEMBLE CAPTEUR DE PRESSION MICROMÉCANIQUE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN ENSEMBLE CAPTEUR DE PRESSION MICROMÉCANIQUE
(DE) MIKROMECHANISCHE DRUCKSENSORANORDNUNG UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER MIKROMECHANISCHEN DRUCKSENSORANORDNUNG
Abrégé :
(EN) The invention relates to a micromechanical pressure sensor assembly (100), comprising: a substrate (110); a pressure sensor component (120) connected to the substrate (110); and a sleeve structure (130) substantially in the shape of a hollow conical frustum, which sleeve structure is connected to the substrate (110) and at least laterally surrounds the pressure sensor component (120) and has an opening (140) on a side of the sleeve structure (130) facing away from the substrate (110).
(FR) L'invention concerne un ensemble capteur de pression micromécanique (100) comprenant : un substrat (110) ; un composant capteur de pression (120) relié au substrat (110) ; et une structure de gaine (130), sensiblement en forme de cône tronqué creux, qui est reliée au substrat, entoure au moins latéralement le composant capteur de pression (120) et présente une ouverture (140) sur un côté opposé au substrat (110).
(DE) Die Erfindung schafft eine mikromechanische Drucksensoranordnung (100), mit: einem Substrat (110); einem mit dem Substrat (110) verbundenen Drucksensorbauteil (120); und einer im Wesentlichen hohlkegelstumpfförmigen Hülsenstruktur (130), welche mit dem Substrat (110) verbunden ist, welche das Drucksensorbauteil (120) zumindest lateral umgibt und welche an einer von dem Substrat (110) abgewandten Seite der Hülsenstruktur (130) eine Öffnung (140) aufweist.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)