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1. (WO2018224245) DISPOSITIF POUR L’ORIENTATION D’UN ÉLÉMENT OPTIQUE
Note: Texte fondé sur des processus automatiques de reconnaissance optique de caractères. Seule la version PDF a une valeur juridique

Patentansprüche :

1. Vorrichtung (1) zur Ausrichtung eines optischen Elements (2), mit einer Betätigungseinrichtung (3) welche eine Mehrzahl von Betätigungseinheiten (4) zur Ausrichtung des optischen Elements (2) aufweist, wobei die Betätigungseinheiten (4) über Befestigungspunkte (5) mit dem optischen Element (2) verbunden sind und eine Kraft auf das optische Element (2) aufbringen um das optische Element (2) auszurichten, dadurch gekennzeichnet, dass eine Messeinrichtung (6) zur Bestimmung von auf das optische Element (2) wirkenden parasitären Kräften (FP) und/oder parasitären Momenten (MP) und eine Kompensationseinrichtung (7) mit wenigstens einer Kompensationseinheit (8) vorgesehen ist, wobei die wenigstens eine Kompensationseinheit (8) auf Basis von Daten der Messeinrichtung (6) eine Kompensationskraft (FK) und/oder ein Kompensationsmoment (Μχ) auf das optische Element (2) aufbringt, um die parasitären Kräfte (FP) und/oder die parasitären Momente (MP) zu korrigieren.

2. Vorrichtung (1) nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die wenigstens eine Kompensations-einheit (8) die Kompensationskraft (FK) und/oder das Kompensationsmoment (MK) direkt oder über einen

Hebel (18) auf das optische Element (2) aufbringt.

3. Vorrichtung (1) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die wenigstens eine Kompensationseinheit (8) einen Fußpunkt (4.1), einer der Betätigungseinheiten (4) verstellt.

4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 , 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die wenigstens eine Kompensationseinheit (8) an einem der Befestigungspunkte (5) des optischen Elements festgelegt ist.

5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens zwei in ei-nem Winkel zueinander angeordnete Kompensationseinheiten (8) auf einen der Fußpunkte (4.1) der Betätigungseinheit (4) und/oder einen der Befestigungspunkte (5) des optischen Elements (2) einwirken.

6. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass ein erstes Ende der wenigstens einen Kompensationseinheit (8) an einem der Befestigungspunkte (5) des optischen Elements (2) oder auf einer Unterseite (2.1) des optischen Elements (2) und ein zweites Ende an einem weiteren der Befestigungspunkte (5) des optischen Elements (2) oder auf der Unterseite (2.1) des optischen Elements (2) befestigt ist.

7. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Kompensations-einheiten (8) jeweils auf Verbindungslinien zwischen den Befestigungspunkten (5) des optischen Elements (2) angeordnet sind.

8. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Kompensationseinrichtung (7) eine Gruppe von drei Kompensationseinheiten (8) aufweist, die derart zueinander angeordnet sind, dass die Kompensationseinheiten (8) jeweils entlang eines Schenkels eines gemeinsamen Dreiecks verlaufen.

9. Vorrichtung (1) nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass drei Betätigungseinheiten (4) vorgesehen sind, wobei die aus den drei Kompensationseinheiten (8) gebildete Gruppe derart angeordnet ist, dass an jeder Betätigungseinheit (4) zwei Kompensationseinheiten (8) mit jeweils einem Ende festgelegt sind.

10. Vorrichtung (1) nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass drei Befestigungspunkte (5) an dem optischen Element (2) vorgesehen sind, wobei die aus den drei Kompensationseinheiten (8) gebildete Gruppe derart angeordnet ist, dass an jedem Befestigungspunkt (5) zwei Kompensationseinheiten (8) mit jeweils einem Ende festgelegt sind.

11. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine der Betätigungseinheiten (4) wenigstens ein Führungsglied (9) aufweist, wobei das Führungsglied (9) einen Kopfbereich (9.1) aufweist, über den das Führungsglied (9) an einem der mit dem optischen Element (2) verbundenen Befestigungspunkte (5) festlegbar ist, und wobei das Führungsglied (9) einen Fußbereich (9.2) aufweist, über den das Führungsglied (9) an einem Befestigungspunkt (10) der Betätigungseinheit (4) festgelegt ist, und wobei die wenigstens eine Kompensationseinheit (8) über das wenigstens eine Führungsglied (9) eine Kompensationskraft (FK) und/oder ein Kompensationsmoment (Μχ) auf das optische Element (2) aufbringt.

12. Vorrichtung (1) nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Betätigungseinheit (4) zwei o-der drei Führungsglieder (9) aufweist und jedem Fußpunkt (9.2) der Führungsglieder (9) wenigstens eine

Kompensationseinheit (8) zugeordnet ist.

13. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass die wenigstens eine Kompensationseinheit (8) den Fußbereich (9.2) des Führungsglieds (9) verstellt oder auf den Fußbe-reich (9.2) lediglich einwirkt ohne die Position des Fußbereichs (9.2) zu verstellen.

14. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine der Betätigungseinheiten (4) eine Gewichtskompensationseinrichtung (20) aufweist.

15. Vorrichtung (1) nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine der Betätigungseinheit (4) ein, zwei oder mehr Betätigungselemente (19) zur Ausrichtung des optischen Elements (2) und eine Gewichtskompensationseinrichtung (20) aufweist.

16. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass eine Regel-und/oder Steuereinrichtung (15) mit einem Regler (16) vorgesehen ist, um die parasitären Kräfte (FP) und/oder die parasitären Momente (MP) zu korrigieren, wobei die Messeinrichtung (6) dazu eingerichtet ist, eine Ist-Größe (FIst) der parasitären Kräfte (FP) und/oder parasitären Momente (MP) zu erfassen und der Regler (16) dazu eingerichtet ist, die Differenz der Ist-Größe (FIst) zu einer Soll-Größe (FSoll) der parasitären Kräfte (FP) und/oder der parasitären Momente (MP) durch Ansteuerung wenigstens einer der Kompensationseinheiten (8) zu minimieren.

17. Vorrichtung (1) nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass Rechenalgorithmen (17) vorgesehen sind, um unterschiedliche physikalische Größen innerhalb der Regel- und/oder Steuereinrichtung (15) ineinander umzurechnen.

18. Verfahren zur Ausrichtung eines optischen Elements (2), wonach zur Ausrichtung des optischen Ele-ments (2) eine Betätigungseinrichtung (3), aufweisend eine Mehrzahl von Betätigungseinheiten (4), verwendet wird, dadurch gekennzeichnet, dass eine Messeinrichtung (6) eingesetzt wird, um auf das optische Elemente (2) wirkende parasitäre Kräfte (FP) und/oder parasitäre Momente (MP) zu bestimmen, wonach mittels einer Kompensationseinrichtung (7) mit wenigstens einer Kompensationseinheit (8) auf Basis von Daten der Messeinrichtung (6) Kompensationskräfte (FK) und/oder Kompensationsmomente (MK) auf das optische Element (2) aufgebracht werden, um die parasitären Kräfte (FP) und/oder die parasitären Momente (MP) zu korrigieren.

19. Projektionsbelichtungsanlage (100, 400) für die Halbleiterlithographie mit einem Beleuchtungssystem (103, 401) mit einer Strahlungsquelle (402) sowie einer Optik (107, 403), welche wenigstens ein auszu-richtendes optisches Element (108, 415, 416, 418, 419, 420) aufweist, wobei das auszurichtende optische Element (108, 415, 416, 418, 419, 420) mit einer Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 17 lagerbar und/oder verstellbar und/oder manipulierbar und/oder deformierbar ist.