Certains contenus de cette application ne sont pas disponibles pour le moment.
Si cette situation persiste, veuillez nous contacter àObservations et contact
1. (WO2018224218) PROCÉDÉ DE DÉCHARGEMENT D'UN OBJET À PARTIR D'UNE TABLE DE SUPPORT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication : WO/2018/224218 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/061287
Date de publication : 13.12.2018 Date de dépôt international : 03.05.2018
CIB :
G03F 7/20 (2006.01) ,H01L 21/683 (2006.01)
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20
Exposition; Appareillages à cet effet
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
683
pour le maintien ou la préhension
Déposants :
ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventeurs :
DE SIMONE, Giovanna; NL
VAN DEN HEUVEL, Marco, Adrianus, Peter; NL
LAURENT, Thibault, Simon, Mathieu; NL
BLOKS, Ruud, Hendrikus, Martinus, Johannes; NL
ROSET, Niek, Jacobus, Johannes; NL
GERRITZEN, Justin, Johannes, Hermanus; NL
Mandataire :
DUNG, S.; NL
Données relatives à la priorité :
17174583.906.06.2017EP
18152220.218.01.2018EP
Titre (EN) METHOD OF UNLOADING AN OBJECT FROM A SUPPORT TABLE
(FR) PROCÉDÉ DE DÉCHARGEMENT D'UN OBJET À PARTIR D'UNE TABLE DE SUPPORT
Abrégé :
(EN) A method of unloading an object from a support table during an unloading process, the object clamped to the support table during an exposure process by: applying a first pressure to a central region of the support table under a central portion of the object; and applying a second pressure to a peripheral region of the support table under a peripheral portion of the object, wherein during clamping the first pressure and the second pressure are controlled such that liquid is retained between the object and a seal member that is positioned radially between the central region and the peripheral region at an upper surface of the support table and protrudes towards the object, the method comprising: increasing the first pressure towards ambient pressure; removing at least some of the liquid retained between the object and the seal member by decreasing the second pressure; and increasing the second pressure towards the ambient pressure.
(FR) L'invention concerne un procédé de déchargement d'un objet à partir d'une table de support pendant un processus de déchargement, l'objet étant fixé à la table de support pendant un processus d'exposition par : application d'une première pression à une région centrale de la table de support sous une partie centrale de l'objet ; et application d'une seconde pression à une région périphérique de la table de support sous une partie périphérique de l'objet, pendant le serrage, la première pression et la seconde pression étant commandées de telle sorte que le liquide soit retenu entre l'objet et un élément d'étanchéité qui est positionné radialement entre la région centrale et la région périphérique au niveau d'une surface supérieure de la table de support et fait saillie vers l'objet, le procédé comprenant : l'augmentation de la première pression vers la pression ambiante ; l'élimination d'au moins une partie du liquide retenu entre l'objet et l'élément d'étanchéité par diminution de la seconde pression ; et l'augmentation de la seconde pression vers la pression ambiante.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)