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1. (WO2018224150) DISPOSITIF DE FERMETURE, SYSTÈME À VIDE AVEC DISPOSITIF DE FERMETURE ET PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT D'UN DISPOSITIF DE FERMETURE
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N° de publication : WO/2018/224150 N° de la demande internationale : PCT/EP2017/063998
Date de publication : 13.12.2018 Date de dépôt international : 08.06.2017
CIB :
F16K 37/00 (2006.01) ,F16K 51/02 (2006.01) ,F16K 3/18 (2006.01) ,F16K 3/316 (2006.01)
F MÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
16
ÉLÉMENTS OU ENSEMBLES DE TECHNOLOGIE; MESURES GÉNÉRALES POUR ASSURER LE BON FONCTIONNEMENT DES MACHINES OU INSTALLATIONS; ISOLATION THERMIQUE EN GÉNÉRAL
K
SOUPAPES; ROBINETS; VANNES; COMMANDES À FLOTTEURS; DISPOSITIFS POUR VENTILER OU AÉRER
37
Moyens particuliers portés par ou sur les soupapes ou autres dispositifs d'obturation pour repérer ou enregistrer leur fonctionnement ou pour permettre de donner l'alarme
F MÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
16
ÉLÉMENTS OU ENSEMBLES DE TECHNOLOGIE; MESURES GÉNÉRALES POUR ASSURER LE BON FONCTIONNEMENT DES MACHINES OU INSTALLATIONS; ISOLATION THERMIQUE EN GÉNÉRAL
K
SOUPAPES; ROBINETS; VANNES; COMMANDES À FLOTTEURS; DISPOSITIFS POUR VENTILER OU AÉRER
51
Autres détails non particuliers aux types de soupapes ou clapets ou autres appareils d'obturation
02
spécialement conçus pour les installations de vide poussé
F MÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
16
ÉLÉMENTS OU ENSEMBLES DE TECHNOLOGIE; MESURES GÉNÉRALES POUR ASSURER LE BON FONCTIONNEMENT DES MACHINES OU INSTALLATIONS; ISOLATION THERMIQUE EN GÉNÉRAL
K
SOUPAPES; ROBINETS; VANNES; COMMANDES À FLOTTEURS; DISPOSITIFS POUR VENTILER OU AÉRER
3
Robinets-vannes ou tiroirs, c. à d. dispositifs obturateurs dont l'élément de fermeture glisse le long d'un siège pour l'ouverture ou la fermeture
02
à faces d'obturation planes; Garnitures d'étanchéité à cet effet
16
avec dispositions particulières pour tenir écartées les faces d'obturation ou pour les presser l'une contre l'autre
18
du fait du mouvement des éléments de fermeture
F MÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
16
ÉLÉMENTS OU ENSEMBLES DE TECHNOLOGIE; MESURES GÉNÉRALES POUR ASSURER LE BON FONCTIONNEMENT DES MACHINES OU INSTALLATIONS; ISOLATION THERMIQUE EN GÉNÉRAL
K
SOUPAPES; ROBINETS; VANNES; COMMANDES À FLOTTEURS; DISPOSITIFS POUR VENTILER OU AÉRER
3
Robinets-vannes ou tiroirs, c. à d. dispositifs obturateurs dont l'élément de fermeture glisse le long d'un siège pour l'ouverture ou la fermeture
30
Détails
316
Guidage de la partie coulissante
Déposants :
OLDENDORF, Ulrich [DE/DE]; DE (US)
KLESEN, Christof [DE/DE]; DE (US)
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Inventeurs :
OLDENDORF, Ulrich; DE
KLESEN, Christof; DE
Mandataire :
ZIMMERMANN & PARTNER PATENTANWÄLTE MBB; Josephspitalstr. 15 80331 München, DE
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) CLOSING DEVICE, VACUUM SYSTEM WITH CLOSING DEVICE AND METHOD OF OPERATING A CLOSING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE FERMETURE, SYSTÈME À VIDE AVEC DISPOSITIF DE FERMETURE ET PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT D'UN DISPOSITIF DE FERMETURE
Abrégé :
(EN) A closing device (100, 200), particularly for closing an opening of a vacuum chamber, is provided. The closing device includes: a flange (110) to be provided at a vacuum chamber and comprising an opening (112); a blocking device (120, 220) configured to close the opening (112); a first magnetic device (130) configured to generate a magnetic closing force between the flange (110) and the blocking device (120) for transferring at least a part of the blocking device from an open position (I) to a closed position (II); and a magnetic levitation system (150) configured to contactlessly transport the blocking device (120) along a guiding structure in a first direction (T) parallel to the flange (110), wherein the magnetic levitation system comprises a second magnetic device (160) configured to stabilize the blocking device (120) in a second direction (X) transverse to the first direction (T).
(FR) L'invention concerne un dispositif de fermeture (100, 200), en particulier pour fermer une ouverture d'une chambre à vide. Le dispositif de fermeture comprend: une bride (110) destinée à être disposée au niveau d'une chambre à vide et comprenant une ouverture (112); un dispositif de blocage (120, 220) configuré pour fermer l'ouverture (112); un premier dispositif magnétique (130) configuré pour générer une force de fermeture magnétique entre la bride (110) et le dispositif de blocage (120) pour transférer au moins une partie du dispositif de blocage d'une position ouverte (I) vers une position fermée (II); et un système de lévitation magnétique (150) configuré pour transporter sans contact le dispositif de blocage (120) le long d'une structure de guidage dans une première direction (T) parallèle à la bride (110), le système de lévitation magnétique comprenant un second dispositif magnétique (160) configuré pour stabiliser le dispositif de blocage (120) dans une seconde direction (X) transversale à la première direction (T).
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)