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1. (WO2018223695) PLAQUE DE MASQUE D'ÉVAPORATION, PLAQUE DE MASQUE D'ÉVAPORATION DE GAINAGE, SYSTÈME D'ÉVAPORATION ET PROCÉDÉ DE TEST D'ALIGNEMENT
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N° de publication : WO/2018/223695 N° de la demande internationale : PCT/CN2018/071549
Date de publication : 13.12.2018 Date de dépôt international : 05.01.2018
CIB :
C23C 14/04 (2006.01)
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
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REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
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Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
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Revêtement de parties déterminées de la surface, p.ex. au moyen de masques
Déposants :
京东方科技集团股份有限公司 BOE TECHNOLOGY GROUP CO., LTD. [CN/CN]; 中国北京市 朝阳区酒仙桥路10号 No.10 Jiuxianqiao Rd., Chaoyang District Beijing 100015, CN
成都京东方光电科技有限公司 CHENGDU BOE OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD. [CN/CN]; 中国四川省成都市 高新区(西区)合作路1188号 No.1188 Hezuo Rd., (West Zone), Hi-tech Development Zone Chengdu, Sichuan 611731, CN
Inventeurs :
丁渭渭 DING, Weiwei; CN
吴建鹏 WU, Jianpeng; CN
Mandataire :
北京银龙知识产权代理有限公司 DRAGON INTELLECTUAL PROPERTY LAW FIRM; 中国北京市 海淀区西直门北大街32号院枫蓝国际中心2号楼10层 10F, Bldg. 2, Maples International Center No. 32 Xizhimen North Street, Haidian District Beijing 100082, CN
Données relatives à la priorité :
201710414315.405.06.2017CN
Titre (EN) EVAPORATION MASK PLATE, SHEATHING EVAPORATION MASK PLATE, EVAPORATION SYSTEM AND ALIGNMENT TESTING METHOD
(FR) PLAQUE DE MASQUE D'ÉVAPORATION, PLAQUE DE MASQUE D'ÉVAPORATION DE GAINAGE, SYSTÈME D'ÉVAPORATION ET PROCÉDÉ DE TEST D'ALIGNEMENT
(ZH) 蒸镀掩膜板、套装蒸镀掩膜板、蒸镀系统和对位测试方法
Abrégé :
(EN) Disclosed are an evaporation mask plate (200), a sheathing evaporation mask plate, an evaporation system and an alignment testing method. The evaporation mask plate (200) comprises a mask pattern plate (1). The mask pattern plate (1) comprises an evaporation region (4) and a testing region (6) located at the periphery of the evaporation region (4). The testing region (6) is provided with at least two sets of testing unit groups (10), the two sets of testing unit groups (10) are located in different regions of the testing region (6), and each of the testing unit groups (10) comprises at least one testing hole (11) for alignment.
(FR) L'invention concerne une plaque de masque d'évaporation (200), une plaque de masque d'évaporation de gainage, un système d'évaporation et un procédé de test d'alignement. La plaque de masque d'évaporation (200) comprend une plaque de motif de masque (1). La plaque de motif de masque (1) comprend une région d'évaporation (4) et une région de test (6) située à la périphérie de la région d'évaporation (4). La région de test (6) est pourvue d'au moins deux ensembles de groupes d'unités de test (10), les deux ensembles de groupes d'unités de test (10) sont situés dans différentes régions de la région de test (6) et chacun des groupes d'unités de test (10) comprend au moins un trou de test (11) destiné à l'alignement.
(ZH) 一种蒸镀掩膜板(200)、套装蒸镀掩膜板、蒸镀系统及对位测试方法。该蒸镀掩膜板(200)包括掩膜图形板(1)。所述掩膜图形板(1)包括蒸镀区(4)以及位于所述蒸镀区(4)周边的测试区(6)。所述测试区(6)设置有至少两组测试单元组(10),所述两组测试单元组(10)位于所述测试区(6)的不同区域,并且每一所述测试单元组(10)包括至少一个用于对位的测试孔(11)。
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Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)