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1. (WO2018223120) FABRICATION DE CODES-BARRES À MICRO/NANO-ÉCHELLE PARE LITHOGRAPHIE PAR SONDE À BALAYAGE SANS PORTE-À-FAUX

Pub. No.:    WO/2018/223120    International Application No.:    PCT/US2018/035827
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue Jun 05 01:59:59 CEST 2018
IPC: G06K 19/06
B82Y 10/00
B82Y 40/00
G03F 7/20
Applicants: TERA-PRINT, LLC
Inventors: IVANKIN, Andrey
MAGOLINE, Jared A.
Title: FABRICATION DE CODES-BARRES À MICRO/NANO-ÉCHELLE PARE LITHOGRAPHIE PAR SONDE À BALAYAGE SANS PORTE-À-FAUX
Abstract:
Des techniques de lithographie par sonde à balayage sans porte-à-faux (CF-SPL) sont utilisées pour permettre la génération de motifs contenant des informations en 1, 2, 3 et 4-D, selon un procédé sans masque qui, à son tour, permet un changement instantané de conception de motif.