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1. (WO2018222771) DÉCAPAGE À SEC DE MASQUE DUR EN CARBURE DE BORE

Pub. No.:    WO/2018/222771    International Application No.:    PCT/US2018/035210
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu May 31 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 21/768
H01L 21/02
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: MANNA, Pramit
JIANG, Shishi
MALLICK, Abhijit Basu
LESCHKIES, Kurtis
Title: DÉCAPAGE À SEC DE MASQUE DUR EN CARBURE DE BORE
Abstract:
Des modes de réalisation de l'invention concernent généralement un procédé de décapage à sec d'une couche de carbure de bore déposée sur un substrat semi-conducteur. Selon un mode de réalisation, le procédé consiste à charger le substrat avec la couche de carbure de bore dans un récipient sous pression, à exposer le substrat à un gaz de traitement comprenant un oxydant à une pression comprise entre environ 500 Torr et 60 bars, à chauffer le récipient sous pression à une température supérieure à un point de condensation du gaz de traitement et à retirer un ou plusieurs produits d'une réaction entre le gaz de traitement et la couche de carbure de bore du récipient sous pression.