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1. (WO2018222706) INTERCONNEXION ÉLECTRIQUE FOURNISSANT UN ACCÈS DE PAIRE D'ÉLECTRODES SUR UN SEUL CÔTÉ D'UN DISPOSITIF

Pub. No.:    WO/2018/222706    International Application No.:    PCT/US2018/035117
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu May 31 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 41/047
H01L 41/08
Applicants: METIS DESIGN CORPORATION
Inventors: KESSLER, Seth S.
DUNN, Christopher T.
Title: INTERCONNEXION ÉLECTRIQUE FOURNISSANT UN ACCÈS DE PAIRE D'ÉLECTRODES SUR UN SEUL CÔTÉ D'UN DISPOSITIF
Abstract:
Les dispositifs et les procédés décrits dans l'invention fournissent un accès de paire d'électrodes à partir d'un seul côté d'un dispositif en utilisant un ou plusieurs trous d'interconnexion (112) à travers le dispositif (100). Le trou d'interconnexion peut passer à travers ou à proximité du centre du dispositif. En créant un trajet conducteur (120b) à travers le trou d'interconnexion du dispositif, des dispositifs et des procédés de la présente invention fournissent avantageusement un accès à une paire d'électrodes (110, 120), chacune d'elles entrant en contact avec un côté différent d'une couche de dispositif, sur un seul côté du dispositif tout en permettant une plus grande surface de dispositif actif que ce qui est possible avec les techniques classiques. De plus, l'emplacement central du trou d'interconnexion fournit des propriétés mécaniques favorables en évitant la constriction radiale des couches de dispositif dans des applications telles que des dispositifs piézoélectriques.