Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2018222635) MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE DESTINÉ À ÊTRE UTILISÉ DANS LE TRAITEMENT DE SEMI-CONDUCTEUR

Pub. No.:    WO/2018/222635    International Application No.:    PCT/US2018/034998
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu May 31 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 21/687
H02N 13/00
Applicants: LAM RESEARCH CORPORATION
Inventors: GOMM, Troy Alan
Title: MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE DESTINÉ À ÊTRE UTILISÉ DANS LE TRAITEMENT DE SEMI-CONDUCTEUR
Abstract:
L'invention concerne un appareil de traitement de substrat semi-conducteur comprenant une chambre à vide ayant une zone de traitement dans laquelle un substrat semi-conducteur peut être traité, une source de gaz de traitement en communication fluidique avec la chambre à vide pour fournir un gaz de traitement dans la chambre à vide, un module de diffuseur à travers lequel le gaz de traitement provenant de la source de gaz de traitement est fourni à la zone de traitement de la chambre à vide, et un module support de substrat. Le module support de substrat comprend un plateau en matériau céramique ayant une surface supérieure configurée pour supporter un substrat semi-conducteur sur celui-ci pendant le traitement, une tige en matériau céramique, et des électrodes coplanaires intégrées dans le plateau, les électrodes comprenant une électrode RF externe et des électrodes de serrage électrostatique internes, l'électrode RF externe comprenant une électrode en forme d'anneau et un fil s'étendant radialement s'étendant de l'électrode en forme d'anneau à une partie centrale du plateau, le matériau céramique du plateau et les électrodes comprenant un corps unitaire réalisé dans une unique étape de frittage.