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1. (WO2018222613) SURVEILLANCE DE PROCESSUS POUR STRUCTURES PROFONDES À L'AIDE D'UNE DIFFUSIOMÉTRIE À RAYONS X

Pub. No.:    WO/2018/222613    International Application No.:    PCT/US2018/034935
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed May 30 01:59:59 CEST 2018
IPC: G01N 23/201
G01B 15/00
H01L 21/66
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION
Inventors: GELLINEAU, Antonio
DZIURA, Thaddeus, Gerard
Title: SURVEILLANCE DE PROCESSUS POUR STRUCTURES PROFONDES À L'AIDE D'UNE DIFFUSIOMÉTRIE À RAYONS X
Abstract:
L'invention concerne des procédés et des systèmes d'estimation de valeurs de paramètres de processus et/ou de paramètres structurels en fonction de mesures de diffusiométrie à rayons x de structures semi-conductrices à rapport de forme élevé. Des mesures de diffusiométrie à rayons x sont effectuées lors d'une ou plusieurs étapes d'un flux de processus de fabrication. Les mesures sont effectuées rapidement et avec une précision suffisante pour permettre une amélioration de rendement d'un flux de processus de fabrication de semi-conducteur en cours. Des corrections de processus sont déterminées en fonction de valeurs mesurées de paramètres d'intérêt et les corrections sont communiquées à l'outil de traitement afin de modifier un ou plusieurs paramètres de commande de processus de l'outil de traitement. Dans certains exemples, des mesures sont effectuées pendant que la tranche est traitée afin de commander l'étape de processus de fabrication en cours. Dans certains exemples, des mesures de diffusiométrie à rayons X sont effectuées après une étape de traitement particulière et des paramètres de commande de processus sont mis à jour pour le traitement de dispositifs à venir.