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1. (WO2018222492) PROCÉDÉS ET APPAREILS DE COMMUNICATION SANS FIL AVEC UNE BROSSE
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N° de publication : WO/2018/222492 N° de la demande internationale : PCT/US2018/034360
Date de publication : 06.12.2018 Date de dépôt international : 24.05.2018
CIB :
H01L 21/67 (2006.01)
[IPC code unknown for H01L 21/67]
Déposants :
ILLINOIS TOOL WORKS INC. [US/US]; 155 Harlem Avenue Glenview, Illinois 60025, US
Inventeurs :
WITHERS, Bradley Scott; US
HUGHES, Corey Alan; US
NELSON, Erik Scott; US
CHRISTIE, Steven Kenneth; US
BEST, Brent Allan; US
Mandataire :
PAHNKE, Chad A.; US
Données relatives à la priorité :
15/607,84930.05.2017US
Titre (EN) METHODS AND APPARATUSES FOR WIRELESS COMMUNICATION WITH A BRUSH
(FR) PROCÉDÉS ET APPAREILS DE COMMUNICATION SANS FIL AVEC UNE BROSSE
Abrégé :
(EN) Provided is a disclosure for embodiments for a brush with communication capabilities, which is configured to clean a surface of, for example, a semiconductor wafer, as well as an offline brush conditioning system and a CMP system that can communicate with the brush.
(FR) L'invention concerne, dans des modes de réalisation, une brosse ayant des capacités de communication qui est conçue pour nettoyer une surface de, par exemple, une plaquette à semi-conducteurs, ainsi qu'un système de conditionnement de brosse hors ligne et un système CMP qui peut communiquer avec la brosse.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)