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1. (WO2018222256) CHAMBRE D'OXYDATION À PLASMA À DISTANCE

Pub. No.:    WO/2018/222256    International Application No.:    PCT/US2018/024539
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed Mar 28 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01J 37/32
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: OLSEN, Christopher S.
SHONO, Eric Kihara
HAWRYLCHAK, Lara
TJANDRA, Agus Sofian
PRASAD, Chaitanya A.
Title: CHAMBRE D'OXYDATION À PLASMA À DISTANCE
Abstract:
Des modes de réalisation de la présente invention concernent de manière générale une chambre de traitement pour une oxydation enrobante de structures à rapport de forme élevé. La chambre de traitement comprend un ensemble formant chemise situé dans un premier côté d'un corps de chambre et deux orifices de pompage situés dans une portion de support de substrat adjacente à un deuxième côté du corps de chambre, opposé au premier côté. L'ensemble formant chemise comprend un diviseur d'écoulement destiné à diriger un écoulement de fluide à l'opposé d'un centre d'un substrat disposé dans une région de traitement de la chambre de traitement. L'ensemble formant chemise peut être fabriqué à partir de quartz afin de minimiser l'interaction avec des gaz de traitement, tels que des radicaux. L'ensemble formant chemise est conçu pour réduire l'étranglement de l'écoulement des radicaux, ce qui conduit à une concentration et un flux de radicaux accrus. Les deux orifices de pompage peuvent être commandés individuellement pour accorder l'écoulement des radicaux à travers la région de traitement de la chambre de traitement.