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1. (WO2018222241) MIROIRS DE DIRECTION DE MEMS POUR APPLICATIONS DANS DES CIRCUITS INTÉGRÉS PHOTONIQUES

Pub. No.:    WO/2018/222241    International Application No.:    PCT/US2018/022013
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue Mar 13 00:59:59 CET 2018
IPC: G02B 6/42
G02B 6/12
G02B 6/293
Applicants: GOOGLE LLC
Inventors: YASUMURA, Kevin Y.
VERSLEGERS, Lieven
BERGER, Jill D.
Title: MIROIRS DE DIRECTION DE MEMS POUR APPLICATIONS DANS DES CIRCUITS INTÉGRÉS PHOTONIQUES
Abstract:
Un ensemble optique intégré comprend un support optique. Le support optique comporte sur celui-ci une source de lumière pour fournir un faisceau de lumière et une lentille configurée pour focaliser le faisceau de lumière. L'ensemble optique intégré comprend un circuit intégré photonique (PIC) couplé mécaniquement au support optique. Un coupleur à réseau pour recevoir le faisceau de lumière et coupler le faisceau de lumière dans un guide d'ondes est disposé sur le PIC. L'ensemble optique intégré comprend un miroir de systèmes microélectromécaniques (MEMS) configuré pour recevoir le faisceau de lumière provenant de la lentille et le rediriger vers le coupleur à réseau. Une position d'une partie réfléchissante du miroir de MEMS est réglable pour affecter un angle d'incidence du faisceau de lumière sur le coupleur à réseau.