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1. (WO2018222215) CHAMBRE DE RECUIT AVEC GETTER

Pub. No.:    WO/2018/222215    International Application No.:    PCT/US2017/042866
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu Jul 20 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/67
H01L 21/683
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: RANISH, Joseph M.
Title: CHAMBRE DE RECUIT AVEC GETTER
Abstract:
La présente invention concerne un procédé et un appareil permettant de traiter thermiquement un substrat. L'appareil comprend une chambre de traitement thermique ayant un volume intérieur qui comprend une partie supérieure et une paroi latérale. L'appareil comprend également un ensemble getter comprenant un getter, conçu sous la forme d'un fil disposé dans la partie supérieure et s'étendant dans le volume intérieur, à proximité de la paroi latérale.