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1. (WO2018221850) DISPOSITIF DE RÉDUCTION DE GAUCHISSEMENT ET PROCÉDÉ DE RÉDUCTION DE GAUCHISSEMENT

Pub. No.:    WO/2018/221850    International Application No.:    PCT/KR2018/004133
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue Apr 10 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 21/67
H01L 23/00
Applicants: EO TECHNICS CO.,LTD.
(주)이오테크닉스
Inventors: CHUNG, Tai O
정태오
JUNG, Dae Ho
정대호
KIM, In Su
김인수
SEO, Gi Hong
서기홍
Title: DISPOSITIF DE RÉDUCTION DE GAUCHISSEMENT ET PROCÉDÉ DE RÉDUCTION DE GAUCHISSEMENT
Abstract:
Un dispositif de réduction de gauchissement selon la présente invention comprend : un gabarit ayant une forme incurvée permettant de répartir une contrainte dans un matériau ; une source de lumière permettant de chauffer le matériau de manière à l'aplatir ; un pressuriseur permettant d'appliquer une pression sur le matériau chauffé de manière à presser le matériau chauffé contre le gabarit et donc de le déformer ; un refroidisseur permettant de refroidir le matériau déformé ; et une unité de commande permettant de commander le fonctionnement de la source de lumière, du pressuriseur et du refroidisseur.