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1. (WO2018221504) COMPRIMÉ FRITTÉ À BASE DE NITRURE D’ALUMINIUM ET DISPOSITIF DE MAINTIEN DE SEMI-CONDUCTEUR

Pub. No.:    WO/2018/221504    International Application No.:    PCT/JP2018/020519
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed May 30 01:59:59 CEST 2018
IPC: C04B 35/581
H01L 21/683
Applicants: KYOCERA CORPORATION
京セラ株式会社
Inventors: WANG,Yucong
王 雨叢
SATOU,Masahiro
佐藤 政宏
KUCHIMACHI,Kazuhiro
口町 和一
Title: COMPRIMÉ FRITTÉ À BASE DE NITRURE D’ALUMINIUM ET DISPOSITIF DE MAINTIEN DE SEMI-CONDUCTEUR
Abstract:
La présente invention concerne un comprimé fritté à base de nitrure d’aluminium (1) comprenant : des particules cristallines (2) de nitrure d’aluminium contenant du Mg ; un oxyde composite qui possède une structure cristalline de type grenat et qui contient un élément de terres rares et de l’Al ; et un oxynitrure composite qui contient du Mg et de l’Al. Les particules (3) de l’oxyde composite et les particules (4) de l’oxynitrure composite sont dispersées entre les particules cristallines (2) du nitrure d’aluminium contenant du Mg. L’oxyde composite peut contenir Y. Les particules cristallines (2) du nitrure d’aluminium contenant du Mg peuvent contenir de 0,1 à 1,0 % en moles de Mg si la teneur de tous les éléments métalliques contenus est considérée comme étant 100 % en moles. Un dispositif de maintien de semi-conducteur est doté du comprimé fritté à base de nitrure d’aluminium (1) et d’une électrode (13) destinée à l’adsorption électrostatique.