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1. (WO2018221436) PORTE-ÉCHANTILLON

Pub. No.:    WO/2018/221436    International Application No.:    PCT/JP2018/020286
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue May 29 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 21/683
H05B 3/20
Applicants: KYOCERA CORPORATION
京セラ株式会社
Inventors: AKABANE, Kenichi
赤羽 賢一
Title: PORTE-ÉCHANTILLON
Abstract:
Un porte-échantillon 10 selon la présente invention comprend : un corps en céramique 1 qui a une surface de support d'échantillon 11 sur une surface principale de celui-ci; et une résistance chauffante 2 qui est disposée sur l'autre surface principale du corps en céramique 1. Une pluralité de rainures 3 sont disposées selon un motif de grille sur la surface de la résistance chauffante 2, et les directions dans lesquelles la pluralité de rainures 3 s'étendent diffèrent dans chaque région de la résistance chauffante 2.