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1. (WO2018221412) RÉCIPIENT DE RÉCEPTION DE SUBSTRAT

Pub. No.:    WO/2018/221412    International Application No.:    PCT/JP2018/020167
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat May 26 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 21/673
B65D 85/30
F16J 15/10
Applicants: SHIN-ETSU POLYMER CO.,LTD.
信越ポリマー株式会社
Inventors: OGAWA Osamu
小川 統
Title: RÉCIPIENT DE RÉCEPTION DE SUBSTRAT
Abstract:
La présente invention concerne un récipient de réception de substrat (1) comprenant une garniture annulaire (30) disposée entre un corps de récipient (10) pour recevoir un substrat et un corps de couvercle (20). Dans le corps de récipient (10), une surface d'étanchéité (12) mise en contact par la garniture (30) est formée. Dans le corps de couvercle (20), une rainure de fixation (21) pour fixer la garniture (30) est formée. La garniture (30) est formée à partir d'une partie de corps (31) qui est ajustée dans la rainure de fixation (21), et d'une pièce d'extension (32) qui s'étend à partir de la partie de corps (31). La pièce d'extension (32) a une partie en saillie (320) qui fait saillie vers le côté corps de couvercle (20) dans une direction de fermeture (H) du corps de couvercle (20), et une partie d'étanchéité (321) positionnée davantage vers l'extrémité distale que la partie en saillie (320). La partie d'étanchéité (321) est inversée au niveau du côté de la surface d'étanchéité (12) et du côté de la partie corps (31), et vient en contact avec la surface d'étanchéité (12). Cela permet d'obtenir un récipient de réception de substrat dans lequel les propriétés d'étanchéité par rapport à la pression positive interne sont améliorées.