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1. (WO2018221379) SUBSTRAT DE SUPPORT

Pub. No.:    WO/2018/221379    International Application No.:    PCT/JP2018/020033
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri May 25 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 21/56
Applicants: KYOCERA CORPORATION
京セラ株式会社
Inventors: HIGASHI,Kouji
東 浩二
Title: SUBSTRAT DE SUPPORT
Abstract:
Le substrat de support selon la présente invention consiste en un corps en céramique en forme de plaque ayant une première surface et une seconde surface qui est située sur le côté opposé de la première surface. La rugosité de surface arithmétique Ra de la première surface, telle qu'obtenue à partir d'une courbe de rugosité, est inférieure ou égale à 0,5 µm et la dissymétrie Rsk, obtenue à partir de la courbe de rugosité, est négative.