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1. (WO2018221327) SUBSTRAT TFT ET ANTENNE DE BALAYAGE COMPRENANT UN SUBSTRAT TFT

Pub. No.:    WO/2018/221327    International Application No.:    PCT/JP2018/019713
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed May 23 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 29/786
G02F 1/13
H01Q 3/34
H01Q 3/44
H01Q 13/22
Applicants: SHARP KABUSHIKI KAISHA
シャープ株式会社
Inventors: MISAKI Katsunori
美崎 克紀
Title: SUBSTRAT TFT ET ANTENNE DE BALAYAGE COMPRENANT UN SUBSTRAT TFT
Abstract:
L'invention concerne un substrat de transistor à couches minces (101A) comprenant un substrat diélectrique (1) et une pluralité de zones d'unité d'antenne (U) disposées sur le substrat diélectrique (1). Chacune de la pluralité de zones d'unité d'antenne (U) comprend : un TFT (10); une électrode patch (15) connectée électriquement à une électrode de drain (7D) du TFT (10); et une partie de connexion patch drain pour connecter électriquement l'électrode de drain (7D) et l'électrode patch (15), la partie de connexion patch drain comprenant une partie conductrice incluse dans une couche conductrice qui est plus proche du substrat diélectrique (1) qu'une couche conductrice (151) comprenant l'électrode patch (15), et qui est plus proche du substrat diélectrique (1), parmi une couche conductrice comprenant une électrode de grille (3G) du TFT (10) et une couche conductrice comprenant une électrode de source (7S) du TFT (10).