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1. (WO2018221304) PARTICULES FINES D'OXYDE INORGANIQUE CONTENANT DES NANOBULLES, ET AGENT DE POLISSAGE COMPRENANT CELLES-CI

Pub. No.:    WO/2018/221304    International Application No.:    PCT/JP2018/019548
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue May 22 01:59:59 CEST 2018
IPC: C09K 3/14
B24B 37/00
H01L 21/304
Applicants: JGC CATALYSTS AND CHEMICALS LTD.
日揮触媒化成株式会社
Inventors: KOMATSU, Michio
小松 通郎
NISHIDA, Hiroyasu
西田 広泰
NAKAYAMA, Kazuhiro
中山 和洋
Title: PARTICULES FINES D'OXYDE INORGANIQUE CONTENANT DES NANOBULLES, ET AGENT DE POLISSAGE COMPRENANT CELLES-CI
Abstract:
La présente invention aborde le problème de la réalisation d'une dispersion de particules fines d'oxyde inorganique contenant des nanobulles qui présente une excellente stabilité de concentration dans le processus d'utilisation en tant qu'agent de polissage. La solution selon la présente invention porte sur une dispersion de particules fines d'oxyde inorganique contenant des nanobulles qui comprend : des particules fines d'oxyde inorganique qui présentent une taille de particule moyenne de 1 à 500 nm et qui comprennent des particules fines contenant du Ce ; et des nanobulles qui présentent une taille de bulle moyenne de 50 à 500 nm, et qui comprennent au moins un gaz non oxydant choisi dans le groupe composé de N2 et de H2.